12 colių Dia300x1,0 mmt Sapphire Wafer substratas C-Plane SSP/DSP
12 colių Sapphire substrato rinkos padėtis
Šiuo metu safyras turi du pagrindinius naudojimo būdus: viena yra pagrindo medžiaga, kuri daugiausia yra LED substrato medžiaga, kita - laikrodžio ciferblatas, aviacija, kosmosas, specialios gamybos langų medžiagos.
Nors silicio karbidas, silicis ir galio nitridas taip pat yra LED padėklai, be safyro, masinė gamyba vis dar neįmanoma dėl išlaidų ir kai kurių neišspręstų techninių kliūčių. Pastaraisiais metais tobulėjant techniškai safyro substratui, jo grotelių atitikimas, elektrinis laidumas, mechaninės savybės, šilumos laidumas ir kitos savybės buvo labai patobulintos ir skatinamos, ekonomiškas pranašumas yra reikšmingas, todėl safyras tapo brandiausia ir stabiliausia substrato medžiaga. LED pramonėje, buvo plačiai naudojamas rinkoje, rinkos dalis net 90%.
Būdinga 12 colių safyro plokštelių substratui
1. Safyro substrato paviršiuose yra labai mažas dalelių skaičius – mažiau nei 50 0,3 mikronų ar didesnių dalelių 2 coliuose 2–8 colių dydžio diapazone ir pagrindiniai metalai (K, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni , Cu, Zn) mažesnis nei 2E10/cm2. Tikimasi, kad 12 colių bazinė medžiaga pasieks šią klasę.
2. Gali būti naudojamas kaip nešiklio plokštelė 12 colių puslaidininkių gamybos procesui (įrenginyje esantys transportavimo padėklai) ir kaip klijavimo pagrindas.
3. Gali valdyti įgaubto ir išgaubto paviršiaus formą.
Medžiaga: didelio grynumo monokristalas Al2O3, safyro plokštelė.
LED kokybė, nėra burbuliukų, įtrūkimų, dvynių, kilmės, be spalvos... ir t.t.
12 colių safyro plokštelės
Orientacija | C plokštuma<0001> +/- 1 laipsnis. |
Skersmuo | 300,0 +/-0,25 mm |
Storis | 1,0 +/-25 um |
Įpjova | Įpjova arba plokščia |
TTV | <50 um |
BOW | <50 um |
Kraštai | Proaktyvus nusklembimas |
Priekinė pusė – poliruota 80/50 | |
Lazerinis ženklas | Nėra |
Pakuotė | Vieno plokštelių laikiklio dėžutė |
Priekinė pusė Epi paruošta poliruota (Ra <0,3nm) | |
Nugarėlė Epi paruošta poliruota (Ra <0,3nm) |