12 colių pilnai automatinis tikslus kubeliais pjaustymo pjūklas, skirtas Si/SiC ir HBM (Al) plokštelių pjaustymui.

12 colių pilnai automatinis tikslus kubeliais pjaustymo pjūklas, skirtas specialiai plokštelių pjovimo sistemai Si/SiC ir HBM (Al) pjaustyti. Iliustracija.

Trumpas aprašymas:

Visiškai automatinė tiksliojo pjaustymo kubeliais įranga yra didelio tikslumo pjovimo sistema, specialiai sukurta puslaidininkių ir elektronikos komponentų pramonei. Joje integruota pažangi judesio valdymo technologija ir intelektualus vizualinis padėties nustatymas, siekiant mikronų lygio apdorojimo tikslumo. Ši įranga tinka tiksliam įvairių kietų ir trapių medžiagų pjaustymui kubeliais, įskaitant:
1. Puslaidininkinės medžiagos: silicis (Si), silicio karbidas (SiC), galio arsenidas (GaAs), ličio tantalato / ličio niobato (LT / LN) substratai ir kt.
2. Pakavimo medžiagos: keraminiai pagrindai, QFN/DFN rėmai, BGA pakavimo pagrindai.
3. Funkciniai įrenginiai: paviršinių akustinių bangų (PAB) filtrai, termoelektriniai aušinimo moduliai, WLCSP plokštelės.

„XKH“ teikia medžiagų suderinamumo bandymų ir procesų pritaikymo paslaugas, siekdama užtikrinti, kad įranga puikiai atitiktų klientų gamybos poreikius, ir pasiūlytų optimalius sprendimus tiek mokslinių tyrimų ir plėtros mėginiams, tiek partijų apdorojimui.

Siųskite mums el. laišką

Savybės

Techniniai parametrai

Parametras	Specifikacija
Darbinis dydis	Φ8", Φ12"
Velenas	Dviašis 1.2/1.8/2.4/3.0, maks. 60000 aps./min.
Ašmenų dydis	2" ~ 3"
Y1 / Y2 ašis	Vieno žingsnio prieaugis: 0,0001 mm
	Padėties nustatymo tikslumas: < 0,002 mm
	Pjovimo diapazonas: 310 mm
X ašis	Padavimo greičio diapazonas: 0,1–600 mm/s
Z1 / Z2 ašis	Vieno žingsnio prieaugis: 0,0001 mm
Z1 / Z2 ašis	Padėties nustatymo tikslumas: ≤ 0,001 mm
θ ašis	Padėties nustatymo tikslumas: ±15"
Valymo stotis	Sukimosi greitis: 100–3000 aps./min.
Valymo stotis	Valymo būdas: automatinis skalavimas ir džiovinimas centrifugoje
Darbinė įtampa	3 fazių 380 V 50 Hz
Matmenys (P × G × A)	1550 × 1255 × 1880 mm
Svoris	2100 kg

Veikimo principas

Įranga pasiekia didelio tikslumo pjovimą, naudodama šias technologijas:
1. Didelio standumo veleno sistema: sukimosi greitis iki 60 000 aps./min., aprūpinta deimantiniais diskais arba lazerinio pjovimo galvutėmis, kad būtų galima prisitaikyti prie skirtingų medžiagų savybių.

2. Daugiaašis judesio valdymas: X/Y/Z ašių padėties nustatymo tikslumas ±1 μm, kartu su didelio tikslumo grotelių skalėmis, kad būtų užtikrintas pjovimo kelias be nukrypimų.

3. Pažangus vizualinis lygiavimas: didelės skiriamosios gebos CCD (5 megapikseliai) automatiškai atpažįsta pjovimo gatves ir kompensuoja medžiagos deformaciją ar nesutapimą.

4. Aušinimas ir dulkių šalinimas: integruota gryno vandens aušinimo sistema ir vakuuminis dulkių šalinimas, siekiant sumažinti šiluminį poveikį ir dalelių užterštumą.

Pjovimo režimai

1. Ašmenų pjaustymas kubeliais: tinka tradicinėms puslaidininkinėms medžiagoms, tokioms kaip Si ir GaAs, kurių pjūvio plotis yra 50–100 μm.

2. Slaptas lazerinis smulkinimas: naudojamas itin plonoms plokštelėms (<100 μm) arba trapioms medžiagoms (pvz., LT/LN), leidžiantis atskirti be įtempio.

Tipinės taikymo sritys

Suderinama medžiaga	Taikymo sritis	Apdorojimo reikalavimai
Silicis (Si)	IC, MEMS jutikliai	Didelio tikslumo pjovimas, smulkinimas <10μm
Silicio karbidas (SiC)	Maitinimo įtaisai (MOSFET/diodai)	Pjovimas be pažeidimų, terminio valdymo optimizavimas
Galio arsenidas (GaAs)	RF įrenginiai, optoelektroniniai lustai	Mikro įtrūkimų prevencija, švaros kontrolė
LT/LN substratai	SAW filtrai, optiniai moduliatoriai	Pjovimas be streso, išsaugant pjezoelektrines savybes
Keraminiai pagrindai	Maitinimo moduliai, LED pakuotės	Didelio kietumo medžiagų apdirbimas, kraštų lygumas
QFN/DFN rėmeliai	Pažangi pakuotė	Kelių lustų vienalaikis pjovimas, efektyvumo optimizavimas
WLCSP plokštelės	Plokštelės lygio pakuotė	Ypač plonų plokštelių (50 μm) pjaustymas be pažeidimų

Privalumai

1. Didelės spartos kasečių kadrų nuskaitymas su susidūrimų prevencijos signalizacija, greitu perkėlimo padėties nustatymu ir didele klaidų taisymo galimybe.

2. Optimizuotas dviejų velenų pjovimo režimas, padidinantis efektyvumą maždaug 80 %, palyginti su vieno veleno sistemomis.

3. Tiksliai importuoti rutuliniai sraigtai, linijiniai kreiptuvai ir Y ašies grotelių skalės uždaros kilpos valdymas, užtikrinantis ilgalaikį didelio tikslumo apdirbimo stabilumą.

4. Visiškai automatizuotas pakrovimas / iškrovimas, perkėlimo padėties nustatymas, pjovimo lygiavimas ir pjūvio patikrinimas, ženkliai sumažinantis operatoriaus (OP) darbo krūvį.

5. Gantry stiliaus veleno tvirtinimo konstrukcija, kurios minimalus dviejų ašmenų atstumas yra 24 mm, leidžia plačiau pritaikyti dviejų velenų pjovimo procesams.

Savybės

1. Didelio tikslumo bekontakčio aukščio matavimas.

2. Daugiasluoksnis dviejų ašmenų pjovimas viename dėkle.

3. Automatinis kalibravimas, pjūvio patikrinimas ir peilio lūžių aptikimo sistemos.

4. Palaiko įvairius procesus su pasirenkamais automatinio lygiavimo algoritmais.

5. Gedimų savireguliavimo funkcija ir realaus laiko kelių padėčių stebėjimas.

6. Pirmojo pjaustymo patikrinimo galimybė po pradinio pjaustymo kubeliais.

7. Pritaikomi gamyklos automatizavimo moduliai ir kitos pasirenkamos funkcijos.

Suderinamos medžiagos

Įrangos paslaugos

Teikiame visapusišką pagalbą – nuo įrangos parinkimo iki ilgalaikės priežiūros:

(1) Individualus kūrimas
· Rekomenduoti peilio/lazerinio pjovimo sprendimus, pagrįstus medžiagos savybėmis (pvz., SiC kietumu, GaAs trapumu).

· Siūlyti nemokamą pavyzdžių bandymą pjovimo kokybei patikrinti (įskaitant skilimą, pjūvio plotį, paviršiaus šiurkštumą ir kt.).

(2) Techninis mokymas
· Baziniai mokymai: įrangos valdymas, parametrų reguliavimas, įprastinė priežiūra.
· Išplėstiniai kursai: Sudėtingų medžiagų procesų optimizavimas (pvz., LT substratų pjovimas be įtempių).

(3) Aptarnavimas po pardavimo
· Reagavimas visą parą: nuotolinė diagnostika arba pagalba vietoje.
· Atsarginių dalių tiekimas: Sandėlyje turime velenus, menčių ir optinių komponentų, kuriuos galima greitai pakeisti.
· Profilaktinė priežiūra: reguliarus kalibravimas siekiant išlaikyti tikslumą ir pailginti tarnavimo laiką.

Mūsų privalumai

✔ Patirtis pramonėje: Aptarnaujame daugiau nei 300 pasaulinių puslaidininkių ir elektronikos gamintojų.
✔ Pažangiausios technologijos: Tikslūs linijiniai kreiptuvai ir servo sistemos užtikrina pirmaujantį stabilumą pramonėje.
✔ Pasaulinis aptarnavimo tinklas: aprėptis Azijoje, Europoje ir Šiaurės Amerikoje, teikiant lokalizuotą pagalbą.
Dėl testavimo ar klausimų susisiekite su mumis!