156 mm 159 mm 6 colių safyrinė plokštelė nešikliui C plokštumos DSP TTV
Specifikacija
Prekė | 6 colių C plokštumos (0001) safyrinės plokštelės | |
Kristalinės medžiagos | 99,999 %, didelio grynumo, monokristalinis Al2O3 | |
Įvertinimas | Prime, Epi-Ready | |
Paviršiaus orientacija | C plokštuma (0001) | |
C plokštumos poslinkis M ašies atžvilgiu 0,2 +/- 0,1° | ||
Skersmuo | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Storis | 650 μm +/- 25 μm | |
Pirminė plokščioji orientacija | C plokštuma (00–01) +/- 0,2° | |
Vienpusis poliruotas | Priekinis paviršius | Epipoliruotas, Ra < 0,2 nm (AFM metodu) |
(SSP) | Galinis paviršius | Smulkiai šlifuotas, Ra = nuo 0,8 μm iki 1,2 μm |
Dvipusis poliravimas | Priekinis paviršius | Epipoliruotas, Ra < 0,2 nm (AFM metodu) |
(DSP) | Galinis paviršius | Epipoliruotas, Ra < 0,2 nm (AFM metodu) |
TTV | < 20 μm | |
LANKAS | < 20 μm | |
WARP | < 20 μm | |
Valymas / Pakavimas | 100 klasės švarių patalpų valymas ir vakuuminis pakavimas, | |
25 vienetai vienoje kasetėje arba po vieną pakuotę. |
Kylopoulos metodą (KY metodą) šiuo metu naudoja daugelis Kinijos įmonių safyro kristalams, skirtiems naudoti elektronikos ir optikos pramonėje, gaminti.
Šio proceso metu didelio grynumo aliuminio oksidas lydomas tiglyje, kurio temperatūra viršija 2100 laipsnių Celsijaus. Paprastai tiglis pagamintas iš volframo arba molibdeno. Tiksliai orientuotas užsėjimo kristalas panardinamas į išlydytą aliuminio oksidą. Užsėjimo kristalas lėtai traukiamas aukštyn ir gali būti sukamas vienu metu. Tiksliai kontroliuojant temperatūros gradientą, tempimo greitį ir aušinimo greitį, iš lydalo galima pagaminti didelį, monokristalinį, beveik cilindro formos luitą.
Užauginus monokristalinius safyro luitus, jie gręžiami į cilindrinius strypus, kurie vėliau supjaustomi iki norimo lango storio ir galiausiai poliruojami iki norimos paviršiaus apdailos.
Detali schema


