156 mm 159 mm 6 colių safyro plokštelė, skirta laikikliui C-Plane DSP TTV
Specifikacija
Prekė | 6 colių C-plane (0001) safyro plokštelės | |
Kristalinės medžiagos | 99 999%, didelio grynumo, monokristalinis Al2O3 | |
Įvertinimas | Prime, Epi-Ready | |
Paviršiaus orientacija | C plokštuma (0001) | |
C plokštumos nuokrypis M ašies atžvilgiu 0,2 +/- 0,1° | ||
Skersmuo | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Storis | 650 μm +/- 25 μm | |
Pirminė plokščia orientacija | C-plokštuma(00-01) +/- 0,2° | |
Vienpusis poliruotas | Priekinis paviršius | Epipoliruotas, Ra < 0,2 nm (pagal AFM) |
(SSP) | Galinis paviršius | Smulkus gruntas, Ra = 0,8 μm iki 1,2 μm |
Dvipusis poliruotas | Priekinis paviršius | Epipoliruotas, Ra < 0,2 nm (pagal AFM) |
(DSP) | Galinis paviršius | Epipoliruotas, Ra < 0,2 nm (pagal AFM) |
TTV | < 20 μm | |
BOW | < 20 μm | |
VEIKIMAS | < 20 μm | |
Valymas / Pakavimas | 100 klasės švarių patalpų valymas ir vakuuminė pakuotė, | |
25 vienetai vienoje kasetėje arba vienetinėje pakuotėje. |
Kylopoulos metodą (KY metodą) šiuo metu naudoja daugelis Kinijos įmonių, gamindamos safyro kristalus, skirtus naudoti elektronikos ir optikos pramonėje.
Šio proceso metu didelio grynumo aliuminio oksidas lydomas tiglyje aukštesnėje nei 2100 laipsnių Celsijaus temperatūroje. Paprastai tiglis yra pagamintas iš volframo arba molibdeno. Tiksliai orientuotas sėklų kristalas panardinamas į išlydytą aliuminio oksidą. Sėklų kristalas lėtai traukiamas aukštyn ir gali būti sukamas vienu metu. Tiksliai kontroliuojant temperatūros gradientą, traukimo greitį ir aušinimo greitį, iš lydalo galima pagaminti didelį, vieno kristalo, beveik cilindro formos luitą.
Išauginus vienkristalinius safyro luitus, iš jų išgręžiami cilindriniai strypai, kurie vėliau supjaustomi iki norimo lango storio ir galiausiai nupoliruojami iki norimo paviršiaus apdailos.