4H/6H-P 6 colių SiC plokštelė Nulinio MPD lygio Gamybinė klasė Manekeno klasė
4H/6H-P tipo SiC kompozicinių pagrindų bendrųjų parametrų lentelė
6 colio skersmens silicio karbido (SiC) substratas Specifikacija
| Įvertinimas | Nulinė MPD gamybaĮvertinimas (Z Įvertinimas) | Standartinė gamybaĮvertinimas (P Įvertinimas) | Manekeno klasė (D Įvertinimas) | ||
| Skersmuo | 145,5 mm ~ 150,0 mm | ||||
| Storis | 350 μm ± 25 μm | ||||
| Vaflinės orientacijos | -OffAšis: 2,0°–4,0° [1120] kryptimi ± 0,5°, kai 4H/6H-P, Ašyje: 〈111〉± 0,5°, kai 3C-N | ||||
| Mikrovamzdžių tankis | 0 cm⁻² | ||||
| Varža | p tipo 4H/6H-P | ≤0,1 Ω₀ cm⁻¹ | ≤0,3 Ω₀ cm² | ||
| n tipo 3C-N | ≤0,8 mΩ₀ cm² | ≤1 m Ω₀ cm | |||
| Pirminė plokščioji orientacija | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
| 3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
| Pirminis plokščias ilgis | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
| Antrinis plokščias ilgis | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
| Antrinė plokščia orientacija | Silikoninis paviršius į viršų: 90° pagal laikrodžio rodyklę nuo paviršiaus ± 5,0° | ||||
| Kraštų išskyrimas | 3 mm | 6 mm | |||
| LTV / TTV / Lankas / Metmenys | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
| Šiurkštumas | Poliruotas Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
| Kraštų įtrūkimai, atsirandantys dėl didelio intensyvumo šviesos | Nėra | Bendras ilgis ≤ 10 mm, vieno elemento ilgis ≤ 2 mm | |||
| Šešiakampės plokštės, pagamintos iš didelio intensyvumo šviesos | Kaupiamasis plotas ≤0,05% | Kaupiamasis plotas ≤0,1% | |||
| Politipinės zonos, veikiamos didelio intensyvumo šviesos | Nėra | Kaupiamasis plotas ≤3% | |||
| Vizualiniai anglies intarpai | Kaupiamasis plotas ≤0,05% | Kaupiamasis plotas ≤3% | |||
| Silicio paviršiaus įbrėžimai veikiant didelio intensyvumo šviesai | Nėra | Bendras ilgis ≤1 × plokštelės skersmuo | |||
| Krašto lustai su dideliu intensyvumo šviesa | Neleidžiama ≥0,2 mm pločio ir gylio | Leidžiami 5, kiekvienas ≤1 mm | |||
| Silicio paviršiaus užterštumas dideliu intensyvumu | Nėra | ||||
| Pakuotė | Daugiasluoksnė kasetė arba vienos plokštelės konteineris | ||||
Pastabos:
※ Defektų ribos taikomos visam plokštelės paviršiui, išskyrus kraštų išskyrimo sritį. # Įbrėžimus reikia patikrinti ant silicio paviršiaus.
4H/6H-P tipo 6 colių SiC plokštelė, pasižyminti nuliniu MPD lygiu ir gamybine arba bandomąja kokybe, yra plačiai naudojama pažangiose elektronikos srityse. Dėl puikaus šilumos laidumo, didelės pramušimo įtampos ir atsparumo atšiaurioms aplinkoms ji idealiai tinka galios elektronikai, pavyzdžiui, aukštos įtampos jungikliams ir keitikliams. Nulinis MPD lygis užtikrina minimalų defektų skaičių, o tai labai svarbu didelio patikimumo įrenginiams. Gamybinės klasės plokštelės naudojamos didelio masto galios įrenginių ir radijo dažnių (RF) taikymų gamyboje, kur našumas ir tikslumas yra labai svarbūs. Kita vertus, bandomosios klasės plokštelės naudojamos procesų kalibravimui, įrangos bandymams ir prototipų kūrimui, o tai leidžia užtikrinti nuoseklią kokybės kontrolę puslaidininkių gamybos aplinkoje.
N tipo SiC kompozicinių substratų privalumai:
- Didelis šilumos laidumas4H/6H-P SiC plokštelė efektyviai išsklaido šilumą, todėl tinka naudoti aukštos temperatūros ir didelės galios elektronikos srityje.
- Aukšta pramušimo įtampaDėl gebėjimo be gedimų valdyti aukštą įtampą, jis idealiai tinka galios elektronikai ir aukštos įtampos perjungimo sistemoms.
- Nulinis MPD (mikro vamzdžių defektų) laipsnisMinimalus defektų tankis užtikrina didesnį patikimumą ir našumą, o tai labai svarbu reiklioms elektroninėms įrenginiams.
- Gamybinė kokybė masinei gamybaiTinka didelio masto didelio našumo puslaidininkinių įtaisų, atitinkančių griežtus kokybės standartus, gamybai.
- Manekeno klasės bandymams ir kalibravimuiĮgalina procesų optimizavimą, įrangos testavimą ir prototipų kūrimą nenaudojant brangių gamybinės klasės plokštelių.
Apskritai 4H/6H-P 6 colių SiC plokštelės su „Zero MPD“ klase, gamybine klase ir fiktyvi klase suteikia didelių pranašumų kuriant didelio našumo elektroninius prietaisus. Šios plokštelės yra ypač naudingos taikymuose, kuriems reikalinga aukšta temperatūra, didelis galios tankis ir efektyvus galios konvertavimas. „Zero MPD“ klasė užtikrina minimalų defektų skaičių ir patikimą bei stabilų įrenginio veikimą, o gamybinės klasės plokštelės palaiko didelio masto gamybą su griežta kokybės kontrole. Fizikinės klasės plokštelės yra ekonomiškas sprendimas procesų optimizavimui ir įrangos kalibravimui, todėl jos yra nepakeičiamos didelio tikslumo puslaidininkių gamyboje.
Detali schema
