4 colių 6 colių ličio niobato monokristalinė plėvelė LNOI plokštelė
LNOI medžiagų paruošimo procesas daugiausia suskirstytas į šiuos keturis etapus
(1) He jonai buvo įpurškiami į X formos ličio niobato medžiagą tam tikra energija ir įvedami į defektinį sluoksnį tam tikrame gylyje po ličio niobato paviršiniu sluoksniu;
(2) Jonų implantuota ličio niobato medžiaga yra sujungta su silicio substratu oksido sluoksniu, kad susidarytų jungiamoji struktūra;
(3) Sujungimo struktūra buvo atkaitinta, kad He jonų implantacijos metu atsiradę defektai išsisklaidytų ir susijungtų, sudarydami įtrūkimus. Galiausiai ličio niobatas buvo atskirtas išilgai defektų sluoksnio, kad susidarytų likusios ličio niobato griežinėliai ir LNOI plokštelės.
LNOI plokštelės pritaikymas ir privalumai
1. Ličio niobato pjezoelektrinės plėvelės (LNOI) pasižymi dideliu pjezoelektriniu koeficientu ir dielektrine konstanta, todėl mechaninę energiją gali paversti elektros energija arba elektros energiją mechanine energija. Todėl jos plačiai naudojamos jutiklių srityje, pavyzdžiui, slėgio jutikliuose, pagreičio jutikliuose, temperatūros jutikliuose ir kt. Be to, ličio niobato pjezoelektrinė plėvelė taip pat gali būti naudojama akustiniuose ir vibracijos įrenginiuose, tokiuose kaip pjezoelektrinių keraminių keitiklių kompleksiniai pjezoelektriniai keraminiai filtrai.
2. Ličio niobato pjezoelektrinės plėvelės stabilumas taip pat yra vienas iš jos privalumų. Dėl kristalinės struktūros stabilumo ir cheminio inertiškumo ličio niobato pjezoelektrinė plėvelė gali veikti aukštoje temperatūroje, didelėje drėgmėje, stipriose rūgštyse, stipriuose šarmuose ir kitose atšiauriose aplinkose, pasižyminti geru atsparumu korozijai ir ilgaamžiškumu.
3-ličio niobato pjezoelektrinė plėvelė yra nauja pjezoelektrinė medžiaga, pasižyminti puikiomis eksploatacinėmis savybėmis ir stabilumu, turinti plačias taikymo galimybes. Nuolat tobulėjant mokslui ir technologijoms, ličio niobato pjezoelektrinė plėvelė bus naudojama vis daugiau miestų, suteikdama daugiau patogumo ir inovacijų žmonių gyvenimui.
Detali schema


