4 colių 6 colių ličio niobato monokristalinės plėvelės LNOI plokštelė
LNOI medžiagų paruošimo procesas daugiausia suskirstytas į šiuos keturis etapus
(1) He jonai buvo įšvirkšti į X-pjaustytą ličio niobato medžiagą tam tikra energija ir įvedami į defektinį sluoksnį tam tikrame gylyje žemiau ličio niobato paviršiaus;
(2) jonais implantuota ličio niobato medžiaga sujungiama su silicio substratu oksido sluoksniu, kad susidarytų rišamoji struktūra;
(3) Sujungimo struktūra buvo atkaitinta, kad defektai, atsiradę implantuojant He jonus, išsivystytų ir susijungtų, kad susidarytų įtrūkimai. Galiausiai ličio niobatas buvo atskirtas išilgai defekto sluoksnio, kad susidarytų likutiniai ličio niobato griežinėliai ir LNOI plokštelės.
LNOI plokštelės pritaikymas ir privalumai
1 - Ličio niobato pjezoelektrinės plėvelės (LNOI) turi didelį pjezoelektrinį koeficientą ir dielektrinę konstantą, kurios gali paversti mechaninę energiją į elektros energiją arba elektros energiją į mechaninę energiją. Todėl jis plačiai naudojamas jutiklių srityje, pavyzdžiui, slėgio davikliai, pagreičio jutikliai, temperatūros jutikliai ir pan. Be to, ličio niobato pjezoelektrinė plėvelė taip pat gali būti naudojama akustiniuose įrenginiuose ir vibracijos įrenginiuose, tokiuose kaip pjezoelektrinis keraminis keitiklis, sudėtingas pjezoelektrinis keraminis filtras.
2-Ličio niobato pjezoelektrinės plėvelės stabilumas taip pat yra vienas iš jos privalumų. Dėl savo kristalų struktūros stabilumo ir cheminio inertiškumo ličio niobato pjezoelektrinė plėvelė gali veikti esant aukštai temperatūrai, aukštai drėgmei, stipriai rūgščiai, stipriai šarmui ir kitoje atšiaurioje aplinkoje, pasižyminti geru atsparumu korozijai ir ilgaamžiškumu.
3-ličio niobato pjezoelektrinė plėvelė yra nauja pjezoelektrinė medžiaga, pasižyminti puikiomis eksploatacinėmis savybėmis ir stabilumu bei plačia pritaikymo perspektyva. Nuolat tobulėjant mokslui ir technologijoms, ličio niobato pjezoelektrinė plėvelė bus naudojama daugiau miestų, todėl žmonių gyvenime bus daugiau patogumo ir naujovių.