6 colių 150 mm silicio karbido SiC 4H-N tipo plokštelės, skirtos MOS arba SBD gamybos tyrimams ir manekeno klasei
Taikymo laukai
6 colių silicio karbido monokristalinis substratas vaidina lemiamą vaidmenį daugelyje pramonės šakų. Pirma, jis plačiai naudojamas puslaidininkių pramonėje gaminant didelės galios elektroninius prietaisus, tokius kaip galios tranzistoriai, integriniai grandynai ir galios moduliai. Didelis šilumos laidumas ir atsparumas aukštai temperatūrai leidžia geriau išsklaidyti šilumą, todėl padidėja efektyvumas ir patikimumas. Antra, silicio karbido plokštelės yra būtinos mokslinių tyrimų srityse kuriant naujas medžiagas ir prietaisus. Be to, silicio karbido plokštelė plačiai naudojama optoelektronikos srityje, įskaitant šviesos diodų ir lazerinių diodų gamybą.
Gaminio specifikacijos
6 colių silicio karbido monokristalinis substratas yra 6 colių (apie 152,4 mm) skersmens. Paviršiaus šiurkštumas yra Ra < 0,5 nm, o storis 600 ± 25 μm. Pagrindą galima pritaikyti pagal N tipo arba P tipo laidumą, atsižvelgiant į kliento reikalavimus. Be to, jis pasižymi išskirtiniu mechaniniu stabilumu, gali atlaikyti slėgį ir vibraciją.
Skersmuo | 150±2,0 mm (6 colių) | ||||
Storis | 350 μm±25 μm | ||||
Orientacija | Ant ašies: <0001>±0,5° | Ne ašis: 4,0° link 1120 ± 0,5° | |||
Politipas | 4H | ||||
Atsparumas (Ω·cm) | 4H-N | 0,015–0,028 Ω·cm/0,015–0,025 omo·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Pirminė plokščia orientacija | {10-10}±5,0° | ||||
Pirminis plokščias ilgis (mm) | 47,5 mm±2,5 mm | ||||
Kraštas | Nusklembta | ||||
TTV / lankas / metmenys (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM priekis (Si-face) | lenkų Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,5 nm | |||||
LTV | ≤3 μm (10 mm * 10 mm) | ≤5 μm (10 mm * 10 mm) | ≤10 μm (10 mm * 10 mm) | ||
TTV | ≤5μm | ≤10 μm | ≤15 μm | ||
Apelsinų žievelės / kauliukai / įtrūkimai / užteršimas / dėmės / dryžiai | Nėra | Nėra | Nėra | ||
įtraukos | Nėra | Nėra | Nėra |
6 colių silicio karbido monokristalinis substratas yra aukštos kokybės medžiaga, plačiai naudojama puslaidininkių, tyrimų ir optoelektronikos pramonėje. Jis pasižymi puikiu šilumos laidumu, mechaniniu stabilumu ir atsparumu aukštai temperatūrai, todėl yra tinkamas didelės galios elektroninių prietaisų gamybai ir naujų medžiagų tyrimams. Mes teikiame įvairias specifikacijas ir pritaikymo galimybes, kad patenkintume įvairius klientų poreikius.Norėdami gauti daugiau informacijos apie silicio karbido plokšteles, susisiekite su mumis!