8 colių SiC Gamybinės klasės plokštelės 4H-N SiC substratas

8 colių SiC Gamybinės klasės plokštelė 4H-N SiC substratas Teminis vaizdas

Trumpas aprašymas:

8 colių SiC substratai naudojami didelės galios elektroniniuose įrenginiuose, tokiuose kaip galios MOSFET (metalo oksido puslaidininkių lauko efekto tranzistoriai), Schottky dioduose ir kituose galios puslaidininkiniuose įrenginiuose.

Atsiųskite mums el

Produkto detalė

Produkto etiketės

Šioje lentelėje pateikiamos mūsų 8 colių SiC plokštelių specifikacijos:

8 colių N tipo SiC DSP specifikacijos
Skaičius	Prekė	Vienetas	Gamyba	Tyrimas	Manekenas
1: parametrai
1.1	politipas	--	4H	4H	4H
1.2	paviršiaus orientacija	°	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5
2: elektrinis parametras
2.1	priedo	--	n tipo azotas	n tipo azotas	n tipo azotas
2.2	varža	omų · cm	0,015 ~ 0,025	0,01 ~ 0,03	NA
3: mechaninis parametras
3.1	skersmuo	mm	200±0,2	200±0,2	200±0,2
3.2	storio	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	Įpjovos orientacija	°	[1-100]±5	[1-100]±5	[1-100]±5
3.4	Įpjovos gylis	mm	1 ~ 1,5	1 ~ 1,5	1 ~ 1,5
3.5	LTV	μm	≤5 (10 mm * 10 mm)	≤5 (10 mm * 10 mm)	≤10 (10 mm * 10 mm)
3.6	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Lankas	μm	-25-25	-45-45	-65-65
3.8	Metmenys	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0,2	Ra≤0,2	Ra≤0,2
4: Struktūra
4.1	mikrovamzdelio tankis	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	metalo kiekis	atomų/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10 000	NA
5.Priekinė kokybė
5.1	priekyje	--	Si	Si	Si
5.2	paviršiaus apdaila	--	Si-face CMP	Si-face CMP	Si-face CMP
5.3	dalelė	e/vaflis	≤100 (dydis≥0,3 μm)	NA	NA
5.4	subraižyti	e/vaflis	≤5,Bendras ilgis≤200mm	NA	NA
5.5	Kraštas lustai/įdubimai/įtrūkimai/dėmės/užteršimas	--	Nėra	Nėra	NA
5.6	Politipinės zonos	--	Nėra	Plotas ≤10 %	Plotas ≤30 %
5.7	priekinis žymėjimas	--	Nėra	Nėra	Nėra
6: nugaros kokybė
6.1	nugaros apdaila	--	C-face MP	C-face MP	C-face MP
6.2	subraižyti	mm	NA	NA	NA
6.3	Nugaros krašto defektai lustai/įtraukos	--	Nėra	Nėra	NA
6.4	Nugaros šiurkštumas	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Nugaros žymėjimas	--	Įpjova	Įpjova	Įpjova
7: kraštas
7.1	kraštas	--	Nusklembta	Nusklembta	Nusklembta
8: pakuotė
8.1	pakavimas	--	Epi-paruošta su vakuumu pakavimas	Epi-paruošta su vakuumu pakavimas	Epi-paruošta su vakuumu pakavimas
8.2	pakavimas	--	Daugiasluoksnė plokštelė kasetės pakuotė	Daugiasluoksnė plokštelė kasetės pakuotė	Daugiasluoksnė plokštelė kasetės pakuotė