8 colių SiC gamybos klasės plokštelė 4H-N SiC substratas
Šioje lentelėje pateikiamos mūsų 8 colių SiC plokštelių specifikacijos:
| 8 colių N tipo SiC DSP specifikacijos | |||||
| Skaičius | Prekė | Vienetas | Gamyba | Tyrimai | Manekenas |
| 1:parametrai | |||||
| 1.1 | politipas | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | paviršiaus orientacija | ° | <11–20>4±0,5 | <11–20>4±0,5 | <11–20>4±0,5 |
| 2: Elektrinis parametras | |||||
| 2.1 | legiruojantis | -- | n tipo azotas | n tipo azotas | n tipo azotas |
| 2.2 | varža | omas ·cm | 0,015–0,025 | 0,01–0,03 | NA |
| 3: Mechaninis parametras | |||||
| 3.1 | skersmuo | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | storis | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Įpjovos orientacija | ° | [1–100]±5 | [1–100]±5 | [1–100]±5 |
| 3.4 | Įpjovos gylis | mm | 1–1,5 | 1–1,5 | 1–1,5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤10 (10 mm * 10 mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Lankas | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Metmenys | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
| 4: Struktūra | |||||
| 4.1 | mikrovamzdžių tankis | vnt./cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | metalo kiekis | atomai/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | Žaislų saugos tarnyba (ŽSD) | vnt./cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | Rizikos lygis | vnt./cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | vnt./cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Priekinė kokybė | |||||
| 5.1 | priekis | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | paviršiaus apdaila | -- | Si-veida CMP | Si-veida CMP | Si-veida CMP |
| 5.3 | dalelė | ea/vaflė | ≤100 (dydis ≥0,3 μm) | NA | NA |
| 5.4 | nulio | ea/vaflė | ≤5, bendras ilgis ≤200 mm | NA | NA |
| 5.5 | Kraštas įskilimai / įlenkimai / įtrūkimai / dėmės / užterštumas | -- | Nėra | Nėra | NA |
| 5.6 | Politipų sritys | -- | Nėra | Plotas ≤10% | Plotas ≤30% |
| 5.7 | priekinis žymėjimas | -- | Nėra | Nėra | Nėra |
| 6: Nugaros kokybė | |||||
| 6.1 | nugaros apdaila | -- | C formos MP | C formos MP | C formos MP |
| 6.2 | nulio | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Galinių defektų kraštas įskilimai / įdubimai | -- | Nėra | Nėra | NA |
| 6.4 | Nugaros šiurkštumas | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Nugaros žymėjimas | -- | Įpjova | Įpjova | Įpjova |
| 7: kraštas | |||||
| 7.1 | kraštas | -- | Nuožulna | Nuožulna | Nuožulna |
| 8: Paketas | |||||
| 8.1 | pakuotė | -- | Epi-ready su vakuumu pakuotė | Epi-ready su vakuumu pakuotė | Epi-ready su vakuumu pakuotė |
| 8.2 | pakuotė | -- | Daugiasluoksnis kasečių pakuotė | Daugiasluoksnis kasečių pakuotė | Daugiasluoksnis kasečių pakuotė |
Detali schema
Parašykite savo žinutę čia ir išsiųskite ją mums