AlN ant NPSS plokštelės: didelio našumo aliuminio nitrido sluoksnis ant nepoliruoto safyro pagrindo, skirtas aukštos temperatūros, didelės galios ir radijo dažnių taikymams
Savybės
Didelio našumo AlN sluoksnisAliuminio nitridas (AlN) yra žinomas dėl savodidelis šilumos laidumas(~200 W/m·K),platus draudžiamasis tarpasiraukšta pramušimo įtampa, todėl tai ideali medžiagadidelės galios, aukšto dažnioiraukšta temperatūraparaiškos.
Nepoliruotas safyro substratas (NPSS)Nepoliruotas safyras suteikiaekonomiškas, mechaniškai tvirtaspagrindas, užtikrinantis stabilų epitaksinio augimo pagrindą be sudėtingo paviršiaus poliravimo. Dėl puikių mechaninių savybių NPSS yra patvarus sudėtingoms aplinkoms.
Didelis terminis stabilumasAlN ant NPSS plokštelė gali atlaikyti didelius temperatūros svyravimus, todėl tinka naudotigalios elektronika, automobilių sistemos, Šviesos diodaiiroptinės programoskuriems reikalingas stabilus veikimas aukštoje temperatūroje.
Elektros izoliacijaAlN pasižymi puikiomis elektros izoliacijos savybėmis, todėl puikiai tinka naudoti ten, kurelektros izoliacijayra kritinė, įskaitantRF įrenginiaiirmikrobangų elektronika.
Puikus šilumos išsklaidymasDėl didelio šilumos laidumo AlN sluoksnis užtikrina efektyvų šilumos išsklaidymą, kuris yra būtinas norint išlaikyti didelės galios ir dažnio įrenginių veikimą ir ilgaamžiškumą.
Techniniai parametrai
Parametras | Specifikacija |
Vaflinio skersmuo | 2 colių, 4 colių (galimi pasirinktiniai dydžiai) |
Pagrindo tipas | Nepoliruotas safyro substratas (NPSS) |
AlN sluoksnio storis | 2–10 µm (pritaikoma) |
Pagrindo storis | 430 µm ± 25 µm (2 colių), 500 µm ± 25 µm (4 colių) |
Šilumos laidumas | 200 W/m·K |
Elektrinė varža | Aukšta izoliacija, tinkama radijo dažnių taikymams |
Paviršiaus šiurkštumas | Ra ≤ 0,5 µm (AlN sluoksniui) |
Medžiagos grynumas | Didelio grynumo AlN (99,9 %) |
Spalva | Balta/balta (AlN sluoksnis su šviesios spalvos NPSS pagrindu) |
Vaflinis metmuo | < 30 µm (tipinis) |
Dopingo tipas | Be priedų (galima pritaikyti) |
Paraiškos
TheAlN ant NPSS plokštelėsyra skirtas įvairioms didelio našumo programoms įvairiose pramonės šakose:
Didelės galios elektronikaDėl didelio AlN sluoksnio šilumos laidumo ir izoliacinių savybių jis yra ideali medžiagagalios tranzistoriai, lygintuvaiirmaitinimo mikroschemosnaudojamasautomobilių, pramoninisiratsinaujinanti energijasistemos.
Radijo dažnių (RF) komponentaiPuikios AlN elektros izoliacijos savybės ir maži nuostoliai leidžia gamintiRF tranzistoriai, HEMT (didelio elektronų judrumo tranzistoriai)ir kitimikrobangų komponentaikurie efektyviai veikia esant aukštiems dažniams ir galios lygiams.
Optiniai įrenginiaiAlN ant NPSS plokštelių naudojamoslazeriniai diodai, Šviesos diodaiirfotodetektoriai, kurdidelis šilumos laidumasirmechaninis atsparumasyra būtini norint išlaikyti našumą per ilgą tarnavimo laiką.
Aukštos temperatūros jutikliaiDėl savo atsparumo itin dideliam karščiui jis tinkatemperatūros jutikliaiiraplinkos monitoringastokiose pramonės šakose kaipaviacija ir kosmosas, automobiliųirnafta ir dujos.
Puslaidininkių pakuotėsNaudojamas šilumos skleidikliaiiršilumos valdymo sluoksniaipakavimo sistemose, užtikrinant puslaidininkių patikimumą ir efektyvumą.
Klausimai ir atsakymai
K: Koks yra pagrindinis AlN ant NPSS plokštelių pranašumas, palyginti su tradicinėmis medžiagomis, tokiomis kaip silicis?
A: Pagrindinis privalumas yra AlNdidelis šilumos laidumas, kuris leidžia efektyviai išsklaidyti šilumą, todėl idealiai tinkadidelės galiosiraukšto dažnio taikymuosekur šilumos valdymas yra labai svarbus. Be to, AlN turiplatus draudžiamasis tarpasir puikuselektros izoliacija, todėl jis puikiai tinka naudotiRFirmikrobangų prietaisųpalyginti su tradiciniu silicio dioksidu.
K: Ar NPSS plokštelių AlN sluoksnį galima pritaikyti pagal užsakymą?
A: Taip, AlN sluoksnio storį galima pritaikyti pagal individualius poreikius (nuo 2 µm iki 10 µm ar daugiau). Taip pat siūlome pritaikymą pagal legiravimo tipą (N tipo arba P tipo) ir papildomus sluoksnius specializuotoms funkcijoms.
K: Koks yra tipiškas šios plokštelės pritaikymas automobilių pramonėje?
A: Automobilių pramonėje dažniausiai naudojamos AlN ant NPSS plokštelėsgalios elektronika, LED apšvietimo sistemosirtemperatūros jutikliaiJie užtikrina puikų šilumos valdymą ir elektros izoliaciją, o tai yra labai svarbu didelio efektyvumo sistemoms, veikiančioms esant skirtingoms temperatūros sąlygoms.
Detali schema



