Bioninis neslystantis padas, kuriame yra vakuuminis siurblys, frikcinis siurblys
Bioninės neslystančios trinkelės savybės:
• Naudojama speciali inžinerinė elastomero kompozicinė medžiaga, kad nebūtų likučių, be taršos, švarus neslystantis efektas, puikiai tinka puslaidininkių gamybos aplinkos reikalavimams.
• Dėl tikslaus mikro-nano struktūros matricos dizaino, išmanaus paviršiaus trinties charakteristikų valdymo, išlaikant aukštą trinties koeficientą ir pasiekiant itin mažą sukibimą.
• Unikali sąsajos mechanikos konstrukcija užtikrina puikų veikimą tiek esant didelei tangentinei trinčiai (μ>2,5), tiek esant mažam normaliam sukibimui (<0,1N/cm²).
• Polimerinės medžiagos, specialiai sukurtos puslaidininkių pramonei, kurios užtikrina stabilų veikimą be slopinimo 100 000 pakartotinių panaudojimų naudojant mikro ir nano gamybos technologijas.

Bioninis neslystantis padas:
(1) Puslaidininkių pramonė
1. Vaflių gamyba:
· Neslidžios padėties nustatymas perduodant itin plonas plokšteles iki 12 colių (50–300 μm)
· Tikslus litografijos aparato plokštelių laikiklio fiksavimas
· Vaflinis neslystantis įdėklas įrangos testavimui
2. Pakuotės testas:
· Neardomasis silicio karbido/galio nitrido jėgos prietaisų fiksavimas
· Neslystantis buferis lusto montavimo metu
· Patikrinkite zondo stalo atsparumą smūgiams ir slydimui
(2) Fotoelektros pramonė
1. Silicio plokštelių apdorojimas:
· Neslidžios fiksacijos monokristalinio silicio strypo pjovimo metu
· Itin plona silicio plokštelė (<150μm) neslidi transmisija
· Silicio plokštelių padėties nustatymas šilkografijos mašinoje
2. Komponentų surinkimas:
· Stiklo nugaros plokštė laminuota neslidi
· Rėmo montavimo padėtis
· Sutvarkyta įrišimo dėžutė
(3) fotoelektros pramonė
1. Ekrano skydelis:
· Neslystančio OLED/LCD stiklo pagrindo procesas
· Tikslus poliarizatoriaus padėties nustatymas
· Atspari smūgiams ir slydimui bandymų įranga
2. Optiniai komponentai:
· Objektyvo modulio mazgas neslidus
· Prizmės/veidrodžio fiksacija
· Smūgiams atspari lazerinė optinė sistema
(4) Tikslieji instrumentai
1. Tiksli litografijos aparato platforma yra neslidi
2. Aptikimo įrangos matavimo lentelė yra atspari smūgiams
3. Automatinės įrangos mechaninė rankena neslidi

Techniniai duomenys:
Medžiagos sudėtis: | C, O, Si |
Šoro kietumas (A): | 50-55 |
Elastingumo atkūrimo koeficientas: | 1.28 |
Viršutinė tolerancijos temperatūra: | 260 ℃ |
Trinties koeficientas: | 1.8 |
Atsparumas plazmai: | Tolerancija |
XKH paslaugos:
XKH teikia bioninio neslystančio kilimėlio viso proceso pritaikymo paslaugas, įskaitant paklausos analizę, schemų projektavimą, greitą patikrinimą ir masinės gamybos palaikymą. Remdamasi mikro ir nano gamybos technologijomis, XKH teikia profesionalius neslystančius sprendimus puslaidininkių, fotovoltinės ir fotoelektros pramonėje ir sėkmingai padėjo klientams pasiekti reikšmingų rezultatų, tokių kaip šiukšlių kiekio sumažinimas iki 0,005 % ir derlingumo padidėjimas 15 %.
Išsami diagrama

