Visiškai automatinė plokštelių žiedų pjovimo įranga, darbinis dydis 8 colių / 12 colių plokštelių žiedų pjovimas

Pilnai automatinė plokštelių žiedų pjovimo įranga, darbinis dydis 8 colių / 12 colių plokštelių žiedų pjovimas, iliustracija

Trumpas aprašymas:

„XKH“ savarankiškai sukūrė visiškai automatinę plokštelių kraštų apipjaustymo sistemą – pažangų sprendimą, skirtą priekinių puslaidininkių gamybos procesams. Šioje įrangoje įdiegta novatoriška daugiaašė sinchroninio valdymo technologija ir didelio standumo veleno sistema (maksimalus sukimosi greitis: 60 000 aps./min.), užtikrinanti tikslų kraštų apipjaustymą iki ±5 μm pjovimo tikslumu. Sistema puikiai suderinama su įvairiais puslaidininkių pagrindais, įskaitant, bet neapsiribojant:
1. Silicio plokštelės (Si): tinka 8–12 colių plokštelių kraštų apdirbimui;
2. Sudėtiniai puslaidininkiai: trečios kartos puslaidininkinės medžiagos, tokios kaip GaAs ir SiC；
3.Specialūs substratai: pjezoelektrinės medžiagos plokštelės, įskaitant LT/LN；

Modulinė konstrukcija leidžia greitai pakeisti daugybę eksploatacinių medžiagų, įskaitant deimantinius diskus ir lazerinio pjovimo galvutes, o suderinamumas viršija pramonės standartus. Specialiems procesų reikalavimams teikiame išsamius sprendimus, apimančius:
· Specialus pjovimo eksploatacinių medžiagų tiekimas
· Muitinės apdorojimo paslaugos
· Proceso parametrų optimizavimo sprendimai

Siųskite mums el. laišką

Savybės

Techniniai parametrai

Parametras	Vienetas	Specifikacija
Maksimalus ruošinio dydis	mm	ø12"
Velenas	Konfigūracija	Vienas velenas
	Greitis	3 000–60 000 aps./min.
	Išėjimo galia	1,8 kW (2,4 kW pasirinktinai) esant 30 000 min⁻¹
	Maks. peilio skersmuo	Ø58 mm
X ašis	Pjovimo diapazonas	310 mm
Y ašis	Pjovimo diapazonas	310 mm
	Žingsnio padidėjimas	0,0001 mm
	Padėties nustatymo tikslumas	≤0,003 mm/310 mm, ≤0,002 mm/5 mm (viena paklaida)
Z ašis	Judėjimo skiriamoji geba	0,00005 mm
Z ašis	Pakartojamumas	0,001 mm
θ ašis	Maksimalus sukimasis	380 laipsnių
Veleno tipas		Vienas velenas su standžiu peiliu žiediniam pjovimui
Žiedo pjovimo tikslumas	μm	±50
Vaflinio padėties nustatymo tikslumas	μm	±50
Vienos plokštelės efektyvumas	min./vaflis	8
Daugiasluoksnis efektyvumas		Vienu metu apdorojama iki 4 plokštelių
Įrangos svoris	kg	≈3 200
Įrangos matmenys (P × G × A)	mm	2 730 × 1 550 × 2 070

Veikimo principas

Sistema pasiekia išskirtinį kirpimo našumą dėl šių pagrindinių technologijų:

1. Pažangi judesio valdymo sistema:
· Didelio tikslumo linijinis variklis (pakartotinio padėties nustatymo tikslumas: ±0,5 μm)
· Šešių ašių sinchroninis valdymas, palaikantis sudėtingą trajektorijų planavimą
· Realaus laiko vibracijos slopinimo algoritmai, užtikrinantys pjovimo stabilumą

2. Išplėstinė aptikimo sistema:
· Integruotas 3D lazerinis aukščio jutiklis (tikslumas: 0,1 μm)
· Didelės skiriamosios gebos CCD vizualinis padėties nustatymas (5 megapikseliai)
· Internetinis kokybės tikrinimo modulis

3. Visiškai automatizuotas procesas:
· Automatinis pakrovimas / iškrovimas (suderinama su FOUP standartine sąsaja)
· Pažangi rūšiavimo sistema
· Uždaro ciklo valymo įrenginys (švarumo klasė: 10)

Tipinės taikymo sritys

Ši įranga suteikia didelę vertę puslaidininkių gamybos srityje:

Taikymo sritis	Proceso medžiagos	Techniniai privalumai
IC gamyba	8/12" silicio plokštelės	Pagerina litografijos lygiavimą
Maitinimo įrenginiai	SiC/GaN plokštelės	Apsaugo nuo kraštų defektų
MEMS jutikliai	SOI plokštelės	Užtikrina įrenginio patikimumą
RF įrenginiai	GaAs plokštelės	Pagerina aukšto dažnio našumą
Pažangi pakuotė	Atkurti vafliai	Padidina pakavimo išeigą

Savybės

1. Keturių stočių konfigūracija, užtikrinanti aukštą apdorojimo efektyvumą;
2. Stabilus TAIKO žiedo nuėmimas ir pašalinimas;
3. Didelis suderinamumas su pagrindinėmis eksploatacinėmis medžiagomis;
4. Daugiaašė sinchroninio pjovimo technologija užtikrina tikslų kraštų pjovimą;
5. Visiškai automatizuotas procesų srautas žymiai sumažina darbo sąnaudas；
6. Individualus darbo stalo dizainas leidžia stabiliai apdoroti specialias konstrukcijas ；

Funkcijos

1. Žiedų kritimo aptikimo sistema;
2. Automatinis darbo stalo valymas;
3. Pažangi UV spindulių šalinimo sistema;
4.Operacijų žurnalo įrašymas;
5. Gamyklos automatizavimo modulio integravimas;

Paslaugų įsipareigojimas

„XKH“ teikia išsamias, visą gamybos ciklą apimančias palaikymo paslaugas, skirtas maksimaliai padidinti įrangos našumą ir veiklos efektyvumą viso gamybos proceso metu.
1. Pritaikymo paslaugos
· Individualiai pritaikyta įrangos konfigūracija: mūsų inžinierių komanda glaudžiai bendradarbiauja su klientais, kad optimizuotų sistemos parametrus (pjovimo greitį, disko pasirinkimą ir kt.) pagal konkrečias medžiagų savybes (Si/SiC/GaAs) ir proceso reikalavimus.
· Procesų kūrimo palaikymas: siūlome mėginių apdorojimą su išsamiomis analizės ataskaitomis, įskaitant kraštų šiurkštumo matavimą ir defektų žemėlapių sudarymą.
· Bendras eksploatacinių medžiagų kūrimas: Kurdami naujas medžiagas (pvz., Ga₂O₃), bendradarbiaujame su pirmaujančiais eksploatacinių medžiagų gamintojais, kad sukurtume konkrečiai taikymo sričiai skirtas mentes / lazerinę optiką.

2. Profesionali techninė pagalba
· Speciali pagalba vietoje: paskirkite sertifikuotus inžinierius kritiniams paleidimo etapams (paprastai 2–4 savaitės), apimantiems:
Įrangos kalibravimas ir procesų tikslus derinimas
Operatoriaus kompetencijos mokymai
ISO 5 klasės švariųjų patalpų integravimo gairės
· Numatomoji priežiūra: Ketvirtiniai būklės patikrinimai su vibracijos analize ir servo variklių diagnostika, siekiant išvengti neplanuotų prastovų.
· Nuotolinis stebėjimas: įrangos veikimo stebėjimas realiuoju laiku per mūsų daiktų interneto platformą („JCFront Connect®“) su automatizuotais įspėjimais apie anomalijas.

3. Pridėtinės vertės paslaugos
· Procesų žinių bazė: prieiga prie daugiau nei 300 patvirtintų pjovimo receptų įvairioms medžiagoms (atnaujinama kas ketvirtį).
· Technologijų plano derinimas: užtikrinkite savo investicijas ateityje, naudodami aparatinės / programinės įrangos atnaujinimo būdus (pvz., dirbtiniu intelektu pagrįstą defektų aptikimo modulį).
· Reagavimas į ekstremalias situacijas: garantuota nuotolinė diagnostika per 4 valandas ir 48 valandų įsikišimas vietoje (visame pasaulyje).

4. Paslaugų infrastruktūra
· Veikimo garantija: sutartinis įsipareigojimas užtikrinti ≥98 % įrangos veikimo laiką su SLA pagrįstu reagavimo laiku.

Nuolatinis tobulėjimas

Kas dvejus metus atliekame klientų pasitenkinimo apklausas ir įgyvendiname „Kaizen“ iniciatyvas, siekdami pagerinti paslaugų teikimą. Mūsų tyrimų ir plėtros komanda pritaiko praktines įžvalgas įrangos atnaujinimams – 30 % programinės įrangos patobulinimų atliekama remiantis klientų atsiliepimais.