Didelio našumo aliuminio oksido keraminis efektorius (šakutė) puslaidininkių ir švarių patalpų automatizavimui

Trumpas aprašymas:

Aliuminio oksido keramikos galinis efektorius, dar vadinamas keramine šakine svirtimi arba robotine keramine ranka, yra didelio tikslumo valdymo komponentas, skirtas automatinėms sistemoms puslaidininkių, fotovoltinių, skydinių ekranų ir didelio grynumo laboratorinėse aplinkose. Jis sukurtas taip, kad užtikrintų išskirtinį terminį stabilumą, mechaninį tvirtumą ir atsparumą cheminėms medžiagoms, užtikrindamas švarų, patikimą ir saugų jautrių medžiagų, tokių kaip silicio plokštelės, stiklo pagrindai ir elektroniniai mikrokomponentai, transportavimą.

Siųskite mums el. laišką

Savybės

Detali schema

Produkto pristatymas

Šis keraminis komponentas, kaip robotinio efektoriaus tipas, yra galutinė sąsaja tarp automatizavimo sistemos ir ruošinio. Jis atlieka labai svarbų vaidmenį atliekant tikslius perkėlimo, lygiavimo, pakrovimo / iškrovimo ir padėties nustatymo darbus švariose patalpose ir vakuuminėje aplinkoje.

keraminė-svirtis-puslaidininkių-plokščių-pavaroms-G13

keraminė-svirtis-puslaidininkių-plokščių-pavaroms-G10

keraminė-svirtis-puslaidininkių-plokščių-pavaroms-G07

Medžiagų apžvalga – aliuminio oksido keramika (Al₂O₃)

Aliuminio oksido keramika yra labai stabili ir chemiškai inertiška techninė keraminė medžiaga, žinoma dėl puikių mechaninių ir elektrinių savybių. Šiuose galiniuose efektoriuose naudojamas didelio grynumo (≥ 99,5 %) aliuminio oksidas užtikrina:

Didelis kietumas (Mohso 9)Antras pagal atsparumą dilimui po deimanto yra aliuminio oksidas.
Aukštos temperatūros pajėgumasIšlaiko konstrukcijos vientisumą aukštesnėje nei 1600 °C temperatūroje.
Cheminis inertiškumasAtsparus rūgštims, šarmams, tirpikliams ir plazminio ėsdinimo aplinkai.
Elektros izoliacijaDidelis dielektrinis stiprumas ir maži dielektriniai nuostoliai.
Mažas šiluminis plėtimasisUžtikrina matmenų stabilumą terminio cikliškumo aplinkoje.
Mažas dalelių susidarymasBūtinas suderinamumui su švariomis patalpomis (nuo 10 iki 1000 klasės).

Dėl šių savybių aliuminio oksido keramika idealiai tinka itin svarbioms operacijoms užterštumui jautriose pramonės šakose.

Funkcinės programos

Aliuminio oksido keramikos efektorius plačiai naudojamas aukštųjų technologijų pramonės procesuose, ypač tais atvejais, kai tradicinės metalinės ar plastikinės medžiagos neatitinka reikalavimų dėl šiluminio plėtimosi, užterštumo ar korozijos problemų. Pagrindinės taikymo sritys:

Puslaidininkių plokštelių perkėlimas
Fotolitografijos pakrovimo ir iškrovimo sistemos
Stiklo pagrindo apdorojimas OLED ir LCD linijose
Kristalinio silicio plokštelių perkėlimas saulės elementų gamyboje
Automatinis optinis arba mikroelektroninis patikrinimas
Mėginių transportavimas analitinėse arba biomedicininėse laboratorijose
Vakuuminės aplinkos automatizavimo sistemos

Dėl gebėjimo veikti neįvedant dalelių ar statinio krūvio, jis yra būtinas tikslioms robotų operacijoms švarių patalpų automatizavimo srityje.

Dizaino ypatybės ir pritaikymas

Kiekvienas keraminis galinis efektorius yra suprojektuotas taip, kad tiktų konkrečiai robotinei rankai arba plokštelių apdorojimo sistemai. Mes palaikome visišką pritaikymą pagal:

Vaflinio dydžio suderinamumas: 2", 4", 6", 8", 12" ir daugiau
Lizdo geometrija ir tarpaiTinka krašto sukibimui, galinei atramai arba įpjautoms plokštelės konstrukcijoms
Siurbimo angosIntegruotos vakuuminės angos arba kanalai bekontakčiam valdymui
Montavimo konfigūracijaSkylės, sriegiai, grioveliai, pritaikyti prie jūsų roboto galinio įrankio flanšo
Paviršiaus apdorojimasPoliruotas, šlifuotas arba smulkiai šlifuotas paviršius (galima rinktis Ra < 0,2 µm)
Apsauga nuo kraštųSuapvalinti kampai arba nuožulninimas, siekiant išvengti plokštelių pažeidimų

Naudodami klientų pateiktus CAD brėžinius arba 3D modelius, mūsų inžinieriai gali optimizuoti kiekvienos šakės svorį, stiprumą ir švarą.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Keraminių galinių efektorių privalumai

Funkcija	Nauda
Didelis mechaninis standumas	Išlaiko matmenų tikslumą veikiant robotų apkrovos jėgoms
Puikus šiluminis našumas	Patikimai veikia aukštos temperatūros arba plazmos aplinkoje
Nulinis metalų užterštumas	Nėra jonų užteršimo rizikos kritinių puslaidininkių apdorojime
Mažos trinties paviršius	Sumažina įbrėžimų riziką ant plokštelių arba stiklo pagrindų
Antistatinis ir nemagnetinis	Nepritraukia dulkių ir neturi įtakos magnetiniams jautriems komponentams
Ilgas tarnavimo laikas	Puikus atsparumas dilimui pasikartojančiuose didelės spartos automatizavimo cikluose
Itin švarus suderinamumas	Tinka ISO 14644 švarioms patalpoms (100 klasės ir žemesnės)

Palyginti su plastikinėmis arba aliumininėmis rankenomis, aliuminio oksido keramika užtikrina žymiai geresnį cheminį ir fizinį stabilumą, o priežiūros reikalavimai yra minimalūs.

Nekilnojamasis turtas	Metalinė ranka	Plastikinė rankena	Aliuminio oksido keraminė rankena
Kietumas	Vidutinis	Žemas	Labai aukšta (Mohs 9)
Terminis stabilumas	≤ 500 °C	≤ 150 °C	≥ 1600 °C
Cheminis atsparumas	Vidutinis	Prastas	Puiku
Tinkamumas švarioms patalpoms	Vidutinis	Žemas	Labai aukštas
Atsparumas dilimui	Vidutinis	Žemas	Puikus
Dielektrinė stiprybė	Žemas	Vidutinis	Aukštas
Tikslus apdirbimas pagal užsakymą	Ribotas	Vidutinis	Aukštas (galimas ±0,01 mm)

Techninės specifikacijos

Parametras	Vertė
Medžiaga	Didelio grynumo aliuminio oksidas (≥ 99,5 %)
Darbinė temperatūra	Iki 1600 °C
Paviršiaus šiurkštumas	Ra ≤ 0,2 µm (neprivaloma)
Suderinami plokštelių dydžiai	2–12 colių arba pagal užsakymą
Plokštumo tolerancija	±0,01 mm (priklausomai nuo taikymo)
Vakuuminio siurbimo palaikymas	Pasirinktiniai, pritaikomi kanalai
Montavimo parinktys	Varžtais, flanšu, išpjovomis

Dažnai užduodami klausimai (DUK)

1 klausimas: Ar galinį efektorių galima integruoti į esamas robotų sistemas?
A1:Taip. Mes palaikome pritaikymą pagal jūsų roboto sąsają. Galite atsiųsti mums CAD brėžinį arba flanšo matmenis, kad galėtume tiksliai pritaikyti.

2 klausimas: Ar keraminės rankenos lengvai sulūš naudojimo metu?
A2:Nors keramika iš prigimties yra trapi, mūsų konstrukcijose naudojama optimizuota geometrija, siekiant sumažinti įtempių koncentraciją. Tinkamai naudojant, jos tarnauja žymiai ilgiau nei metalinės ar plastikinės.

3 klausimas: Ar galima tai naudoti itin aukšto vakuumo arba plazminio ėsdinimo kamerose?
A3:Taip. Aliuminio oksido keramika neišskiria dujų, yra termiškai stabili ir atspari korozijai – puikiai tinka naudoti aukšto vakuumo, reaktyviųjų dujų ar plazmos aplinkoje.

4 klausimas: Kaip šie komponentai valomi arba prižiūrimi?
A4:Juos galima valyti dejonizuotu vandeniu, alkoholiu arba švarioms patalpoms skirtais plovikliais. Dėl cheminio stabilumo ir inertiško paviršiaus nereikia jokios specialios priežiūros.

Apie mus

„XKH“ specializuojasi aukštųjų technologijų kūrime, gamyboje ir pardavime, susijusiame su specialiu optiniu stiklu ir naujomis kristalinėmis medžiagomis. Mūsų produktai skirti optinei elektronikai, plataus vartojimo elektronikai ir kariuomenei. Siūlome safyro optinius komponentus, mobiliųjų telefonų lęšių dangtelius, keramiką, lengvą stiklo pluoštą, silicio karbido SIC, kvarco ir puslaidininkinių kristalų plokšteles. Turėdami kvalifikuotų specialistų patirtį ir pažangiausią įrangą, mes puikiai atliekame nestandartinių gaminių apdorojimą ir siekiame tapti pirmaujančia optoelektroninių medžiagų aukštųjų technologijų įmone.