Didelio grynumo lydytos kvarco plokštelės puslaidininkiams, fotonikos optinėms reikmėms 2″4″6″8″12″

Trumpas aprašymas:

Lydytas kvarcas– taip pat žinomas kaipLydytas silicio dioksidas— yra nekristalinė (amorfinė) silicio dioksido (SiO₂) forma. Skirtingai nuo borosilikato ar kitų pramoninių stiklų, lydytas kvarcas neturi jokių legiruojančių medžiagų ar priedų, todėl jo sudėtis yra chemiškai gryna SiO₂. Jis garsėja išskirtiniu optiniu pralaidumu tiek ultravioletiniuose (UV), tiek infraraudonuosiuose (IR) spektruose, pranokstančiu tradicines stiklo medžiagas.

Siųskite mums el. laišką

Savybės

Detali schema

Lydyto silicio dioksido ir optinio kvarco stiklo plokštelės-2

lydyto_kvarco_plokštelė_4_colių_lydyto_silicio_plokštelė

Kvarco stiklo apžvalga

Kvarco plokštelės sudaro daugybės šiuolaikinių įrenginių, kurie varo šiandienos skaitmeninį pasaulį, pagrindą. Nuo išmaniojo telefono navigacijos iki 5G bazinių stočių pagrindo, kvarcas tyliai užtikrina stabilumą, grynumą ir tikslumą, reikalingą didelio našumo elektronikai ir fotonikai. Nesvarbu, ar tai palaiko lanksčias grandines, įgalina MEMS jutiklius, ar sudaro kvantinių skaičiavimų pagrindą, unikalios kvarco savybės daro jį nepakeičiamu įvairiose pramonės šakose.

„Lydytas silicio dioksidas“ arba „lydytas kvarcas“ – amorfinė kvarco (SiO2) fazė. Lydytas silicio dioksidas, palyginti su borosilikatiniu stiklu, neturi priedų; todėl jis egzistuoja gryna forma – SiO2. Lydyto silicio dioksido pralaidumas infraraudonųjų ir ultravioletinių spindulių spektre yra didesnis, palyginti su įprastu stiklu. Lydytas silicio dioksidas gaminamas lydant ir vėl sukietinant itin gryną SiO2. Kita vertus, sintetinis lydytas silicio dioksidas gaminamas iš silicio turtingų cheminių pirmtakų, tokių kaip SiCl4, kurie dujofikuojami, o po to oksiduojami H2 + O2 atmosferoje. Šiuo atveju susidariusios SiO2 dulkės lydomos su silicio dioksidu ant pagrindo. Lydyto silicio dioksido blokai supjaustomi į plokšteles, po kurių plokštelės galiausiai poliruojamos.

Lydyto silicio dioksido ir optinio kvarco stiklo plokštelės

Pagrindinės kvarcinio stiklo plokštelės savybės ir privalumai

Itin didelis grynumas (≥99,99 % SiO2)
Idealiai tinka itin švariems puslaidininkių ir fotonikos procesams, kur reikia kuo labiau sumažinti medžiagų užterštumą.
Platus terminis veikimo diapazonas
Išlaiko konstrukcijos vientisumą nuo kriogeninės temperatūros iki daugiau nei 1100 °C be deformacijos ar degradacijos.
Puikus UV ir IR pralaidumas
Užtikrina puikų optinį skaidrumą nuo giliųjų ultravioletinių (DUV) iki artimųjų infraraudonųjų spindulių (NIR), palaikydamas tikslias optines programas.
Mažas šiluminio plėtimosi koeficientas
Pagerina matmenų stabilumą esant temperatūros svyravimams, sumažina įtempį ir pagerina proceso patikimumą.
Puikus atsparumas cheminėms medžiagoms
Inertiškas daugumai rūgščių, šarmų ir tirpiklių, todėl puikiai tinka chemiškai agresyviai aplinkai.
Paviršiaus apdailos lankstumas
Galima įsigyti su itin lygiais, vienpusiais arba dvipusiais poliruotais paviršiais, suderinamais su fotonikos ir MEMS reikalavimais.

Kvarco stiklo plokštelės gamybos procesas

Lydyto kvarco plokštelės gaminamos kontroliuojamų ir tikslių veiksmų seka:

Žaliavų pasirinkimas
Didelio grynumo natūralaus kvarco arba sintetinių SiO₂ šaltinių pasirinkimas.
Lydymas ir susiliejimas
Kvarcas lydomas maždaug 2000 °C temperatūroje elektrinėse krosnyse kontroliuojamoje atmosferoje, kad būtų pašalinti intarpai ir burbuliukai.
Blokų formavimas
Išlydytas silicio dioksidas aušinamas į kietus blokus arba luitus.
Vaflių pjaustymas
Luitai pjaustomi į plokštelių ruošinius naudojant tikslius deimantinius arba vielinius pjūklus.
Šlifavimas ir poliravimas
Abu paviršiai yra išlyginti ir poliruoti, kad atitiktų tikslius optinius, storio ir šiurkštumo reikalavimus.
Valymas ir apžiūra
Plokštelės valomos ISO 100/1000 klasės švariose patalpose ir griežtai tikrinamos dėl defektų ir matmenų atitikties.

Kvarco stiklo plokštelės savybės

specifikacija	vienetas	4"	6"	8"	10"	12 colių
Skersmuo / dydis (arba kvadratas)	mm	100	150	200	250	300
Tolerancija (±)	mm	0,2	0,2	0,2	0,2	0,2
Storis	mm	0,10 ar daugiau	0,30 ar daugiau	0,40 ar daugiau	0,50 ar daugiau	0,50 ar daugiau
Pirminis atskaitos butas	mm	32,5	57,5	Pusiau įpjova	Pusiau įpjova	Pusiau įpjova
Ilgalaikės varžos plotis (5 mm × 5 mm)	μm	< 0,5	< 0,5	< 0,5	< 0,5	< 0,5
TTV	μm	< 2	< 3	< 3	< 5	< 5
Lankas	μm	±20	±30	±40	±40	±40
Metmenys	μm	≤ 30	≤ 40	≤ 50	≤ 50	≤ 50
PLTV (5 mm × 5 mm) < 0,4 μm	%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%
Kraštų apvalinimas	mm	Atitinka SEMI M1.2 standartą / žr. IEC62276
Paviršiaus tipas		Vienpusis poliravimas / Dvipusis poliravimas
Poliruota pusė Ra	nm	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
Galinės pusės kriterijai	μm	bendras 0,2–0,7 arba pritaikytas

Kvarcas ir kitos skaidrios medžiagos

Nekilnojamasis turtas	Kvarcinis stiklas	Borosilikatinis stiklas	Safyras	Standartinis stiklas
Maksimali darbinė temperatūra	~1100°C	~500°C	~2000 °C	~200°C
UV pralaidumas	Puiku (JGS1)	Prastas	Gerai	Labai prastas
Cheminis atsparumas	Puiku	Vidutinis	Puiku	Prastas
Grynumas	Labai aukštas	Žemas arba vidutinis	Aukštas	Žemas
Šiluminis plėtimasis	Labai žemas	Vidutinis	Žemas	Aukštas
Kaina	Vidutinis arba aukštas	Žemas	Aukštas	Labai žemas

Kvarco stiklo vaflių DUK

1 klausimas: Kuo skiriasi lydytas kvarcas ir lydytas silicio dioksidas?
Nors abu yra amorfinės SiO₂ formos, lydytas kvarcas paprastai gaunamas iš natūralių kvarco šaltinių, o lydytas silicio dioksidas gaminamas sintetiniu būdu. Funkciniu požiūriu jie pasižymi panašiomis savybėmis, tačiau lydytas silicio dioksidas gali būti šiek tiek grynesnis ir homogeniškesnis.

2 klausimas: Ar lydyto kvarco plokšteles galima naudoti aukšto vakuumo aplinkoje?
Taip. Dėl mažo dujų išskyrimo savybių ir didelio atsparumo karščiui, lydyto kvarco plokštelės puikiai tinka vakuuminėms sistemoms ir aviacijos bei kosmoso reikmėms.

3 klausimas: Ar šios plokštelės tinka giliųjų UV lazerių taikymams?
Be abejo. Lydyto kvarco pralaidumas yra didelis – iki ~185 nm, todėl jis idealiai tinka DUV optikai, litografijos kaukėms ir eksimerinių lazerių sistemoms.

4 klausimas: Ar palaikote individualią plokštelių gamybą?
Taip. Mes siūlome visišką pritaikymą, įskaitant skersmenį, storį, paviršiaus kokybę, plokštumas / įpjovas ir lazerinį formavimą, atsižvelgiant į jūsų konkrečius taikymo reikalavimus.

Apie mus

„XKH“ specializuojasi aukštųjų technologijų kūrime, gamyboje ir pardavime, susijusiame su specialiu optiniu stiklu ir naujomis kristalinėmis medžiagomis. Mūsų produktai skirti optinei elektronikai, plataus vartojimo elektronikai ir kariuomenei. Siūlome safyro optinius komponentus, mobiliųjų telefonų lęšių dangtelius, keramiką, lengvą stiklo pluoštą, silicio karbido SIC, kvarco ir puslaidininkinių kristalų plokšteles. Turėdami kvalifikuotų specialistų patirtį ir pažangiausią įrangą, mes puikiai atliekame nestandartinių gaminių apdorojimą ir siekiame tapti pirmaujančia optoelektroninių medžiagų aukštųjų technologijų įmone.

Safyro plokštelės tuščias didelio grynumo neapdoroto safyro substratas apdorojimui 5