Jonų pluošto poliravimo staklės safyrui SiC Si

Jonų pluošto poliravimo staklės safyro SiC Si pagrindiniam vaizdui

Trumpas aprašymas:

Jonų pluošto figūravimo ir poliravimo mašina veikia tokiu principu:jonų dulkinimasDidelio vakuumo kameroje jonų šaltinis generuoja plazmą, kuri greitinama į didelės energijos jonų pluoštą. Šis pluoštas bombarduoja optinio komponento paviršių, pašalindamas medžiagą atominiu mastu, kad būtų pasiektas itin tikslus paviršiaus korekcijos ir apdailos procesas.

Siųskite mums el. laišką

Savybės

Detali schema

Jonų pluošto poliravimo mašinos produkto apžvalga

Jonų pluošto figūravimo ir poliravimo mašina veikia jonų dulkinimo principu. Didelio vakuumo kameroje jonų šaltinis generuoja plazmą, kuri pagreitinama į didelės energijos jonų pluoštą. Šis pluoštas bombarduoja optinio komponento paviršių, pašalindamas medžiagą atominiu mastu, kad būtų pasiektas itin tikslus paviršiaus korekcijos ir apdailos procesas.

Jonų pluošto poliravimas, kaip nekontaktinis procesas, pašalina mechaninį įtempį ir padeda išvengti požeminių pažeidimų, todėl idealiai tinka gaminti didelio tikslumo optiką, naudojamą astronomijoje, aviacijos ir kosmoso pramonėje, puslaidininkiuose ir pažangiuose tyrimuose.

Jonų pluošto poliravimo mašinos veikimo principas

Jonų generavimas
Į vakuuminę kamerą įleidžiamos inertinės dujos (pvz., argonas) ir jonizuojamos elektros iškrovos būdu, kad susidarytų plazma.

Pagreitis ir spindulio formavimas
Jonai įgreitinami iki kelių šimtų ar tūkstančių elektronvoltų (eV) ir suformuojami į stabilią, sufokusuotą spindulio dėmę.

Medžiagų šalinimas
Jonų pluoštas fiziškai išpurškia atomus nuo paviršiaus nesukeldamas cheminių reakcijų.

Klaidų aptikimas ir kelio planavimas
Paviršiaus figūros nuokrypiai matuojami interferometrija. Šalinimo funkcijos taikomos norint nustatyti sustojimo laiką ir sugeneruoti optimizuotas įrankio trajektorijas.

Uždaros kilpos korekcija
Iteraciniai apdorojimo ir matavimo ciklai tęsiasi tol, kol pasiekiami RMS/PV tikslumo tikslai.

Pagrindinės jonų pluošto poliravimo mašinos savybės

Universalus paviršių suderinamumas– Apdoroja plokščius, sferinius, asferinius ir laisvos formos paviršius

Itin stabilus pašalinimo greitis– Įgalina subnanometrinių skaičių korekciją

Apdorojimas be pažeidimų– Nėra jokių požeminių defektų ar struktūrinių pokyčių

Nuolatinis našumas– Vienodai gerai veikia su skirtingo kietumo medžiagomis

Žemo/vidutinio dažnio korekcija– Pašalina klaidas nesukeldamas vidutinio/aukšto dažnio artefaktų

Mažas priežiūros poreikis– Ilgas nepertraukiamas veikimas su minimaliu prastovų laiku

Pagrindinės jonų pluošto poliravimo mašinos techninės specifikacijos

Prekė	Specifikacija
Apdorojimo metodas	Jonų dulkinimas aukšto vakuumo aplinkoje
Apdorojimo tipas	Bekontaktis paviršiaus formavimas ir poliravimas
Maksimalus ruošinio dydis	Φ4000 mm
Judėjimo ašys	3 ašių / 5 ašių
Pašalinimo stabilumas	≥95%
Paviršiaus tikslumas	PV < 10 nm; RMS ≤ 0,5 nm (tipinė RMS < 1 nm; PV < 15 nm)
Dažnio korekcijos galimybė	Pašalina žemo ir vidutinio dažnio klaidas neįvedant vidutinio / aukšto dažnio klaidų
Nuolatinis veikimas	3–5 savaitės be vakuuminės priežiūros
Priežiūros išlaidos	Žemas

Jonų pluošto poliravimo mašinos apdorojimo galimybės

Palaikomi paviršių tipai

Paprasta: plokščia, sferinė, prizmė

Sudėtingas: simetriškas/asimetriškas asferinis, neašinis asferinis, cilindrinis

Specialūs pritaikymai: itin plona optika, plokštelinė optika, pusrutulio optika, konforminė optika, fazinės plokštės, laisvos formos paviršiai

Palaikomos medžiagos

Optinis stiklas: kvarcinis, mikrokristalinis, K9 ir kt.

Infraraudonųjų spindulių medžiagos: silicis, germanis ir kt.

Metalai: aliuminis, nerūdijantis plienas, titano lydinys ir kt.

Kristalai: YAG, monokristalinis silicio karbidas ir kt.

Kietos/trapios medžiagos: silicio karbidas ir kt.

Paviršiaus kokybė / tikslumas

PV < 10 nm

RMS ≤ 0,5 nm

Jonų pluošto poliravimo mašinos atvejų analizės

1 atvejis – standartinis plokščias veidrodis

Ruošinys: D630 mm kvarcinis plokščias

Rezultatas: PV 46,4 nm; RMS 4,63 nm

2 atvejis – rentgeno spindulius atspindintis veidrodis

Ruošinys: 150 × 30 mm silikoninis plokščias

Rezultatas: PV 8,3 nm; RMS 0,379 nm; nuolydis 0,13 µrad

3 atvejis – neašinis veidrodis

Ruošinys: D326 mm neašinis šlifuotas veidrodis

Rezultatas: PV 35,9 nm; RMS 3,9 nm

Kvarco akinių DUK

DUK – Jonų pluošto poliravimo staklės

1 klausimas: Kas yra jonų pluošto poliravimas?
A1:Jonų pluošto poliravimas yra nekontaktinis procesas, kurio metu fokusuotas jonų pluoštas (pvz., argono jonai) pašalina medžiagą nuo ruošinio paviršiaus. Jonai yra greitinami ir nukreipiami į paviršių, todėl pašalinama atominio lygio medžiaga ir gaunamas itin lygus paviršius. Šis procesas pašalina mechaninį įtempį ir paviršutinio sluoksnio pažeidimus, todėl jis idealiai tinka tiksliems optiniams komponentams.

2 klausimas: Kokius paviršius galima apdirbti jonų pluošto poliravimo mašina?
A2:TheJonų pluošto poliravimo mašinagali apdoroti įvairius paviršius, įskaitant paprastus optinius komponentus, tokius kaipplokščių, sferų ir prizmiųtaip pat sudėtingos geometrijos, pvz.asferos, neašinės asferosirlaisvos formos paviršiaiJis ypač veiksmingas su tokiomis medžiagomis kaip optinis stiklas, infraraudonųjų spindulių optika, metalai ir kietos / trapios medžiagos.

3 klausimas: Su kokiomis medžiagomis gali dirbti jonų pluošto poliravimo mašina?
A3:TheJonų pluošto poliravimo mašinagali poliruoti įvairias medžiagas, įskaitant:

Optinis stiklasKvarcas, mikrokristalinis, K9 ir kt.
Infraraudonųjų spindulių medžiagosSilicis, germanis ir kt.
Metalai: Aliuminis, nerūdijantis plienas, titano lydinys ir kt.
Kristalinės medžiagosYAG, monokristalinis silicio karbidas ir kt.
Kitos kietos / trapios medžiagosSilicio karbidas ir kt.

Apie mus

„XKH“ specializuojasi aukštųjų technologijų kūrime, gamyboje ir pardavime, susijusiame su specialiu optiniu stiklu ir naujomis kristalinėmis medžiagomis. Mūsų produktai skirti optinei elektronikai, plataus vartojimo elektronikai ir kariuomenei. Siūlome safyro optinius komponentus, mobiliųjų telefonų lęšių dangtelius, keramiką, lengvą stiklo pluoštą, silicio karbido SIC, kvarco ir puslaidininkinių kristalų plokšteles. Turėdami kvalifikuotų specialistų patirtį ir pažangiausią įrangą, mes puikiai atliekame nestandartinių gaminių apdorojimą ir siekiame tapti pirmaujančia optoelektroninių medžiagų aukštųjų technologijų įmone.