LiTaO3 ličio tantalato luitai su Fe/Mg legiravimu, pritaikyti 4 colių, 6 colių ir 8 colių pramoniniam jutikliui
Techniniai parametrai
Specifikacija | Įprastinis | Didelis tikslumas |
Medžiagos | LiTaO3(LT)/LiNbO3 plokštelės | LiTaO3(LT)/LiNbO3 plokštelės |
Orientacija | X-112°Y, 36°Y, 42°Y±0,5° | X-112°Y, 36°Y, 42°Y±0,5° |
Lygiagrečiai | 30 colių | 10 colių |
Statmenai | 10 min. | 5' |
paviršiaus kokybė | 40/20 | 20/10 |
Bangos fronto iškraipymas | λ/4 @ 632 nm | λ/8 @ 632 nm |
Paviršiaus lygumas | λ/4 @ 632 nm | λ/8 @ 632 nm |
Skaidri diafragma | >90% | >90% |
Nuožulna | <0,2 × 45° | <0,2 × 45° |
Storio / skersmens tolerancija | ±0,1 mm | ±0,1 mm |
Maksimalūs matmenys | skersmuo 150 × 50 mm | skersmuo 150 × 50 mm |
XKH paslaugos
1. Didelio masto luitų gamyba
Dydis ir pjovimas: 3–8 colių luitai su X/Y/Z pjūviu, 42° Y pjūviu ir nestandartiniais kampiniais pjūviais (paklaida ±0,01°).
Dopingo kontrolė: Fe/Mg papildomas legiravimas Čochralskio metodu (koncentracijos diapazonas 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³), siekiant optimizuoti fotorefrakcijos atsparumą ir terminį stabilumą.
2. Pažangios procesų technologijos
Heterogeninė integracija: silicio pagrindu pagamintos LiTaO3 kompozicinės plokštelės (POI) su storio valdymu (300–600 nm) ir iki 8,78 W/m·K šilumos laidumu aukšto dažnio SAW filtrams.
Bangolaidžių gamyba: protonų mainų (PE) ir atvirkštinių protonų mainų (RPE) metodai, leidžiantys gauti submikroninius bangolaidžius (Δn >0,7) didelės spartos elektrooptiniams moduliatoriams (juostos plotis >40 GHz).
3. Kokybės valdymo sistemos
Išsamūs bandymai: Ramano spektroskopija (politipo patvirtinimas), XRD (kristališkumas), AFM (paviršiaus morfologija) ir optinio vienodumo bandymai (Δn <5×10⁻⁵).
4. Pasaulinės tiekimo grandinės palaikymas
Gamybos pajėgumai: mėnesinė produkcija > 5000 luitų (8 colių: 70 %), palaikanti 48 valandų skubų pristatymą.
Logistikos tinklas: Aprėptis Europoje, Šiaurės Amerikoje ir Azijos bei Ramiojo vandenyno regione, gabenant oru / jūra ir kontroliuojamos temperatūros pakuotėmis.
5. Techninis bendras kūrimas
Jungtinės mokslinių tyrimų ir plėtros laboratorijos: bendradarbiauti kuriant fotoninės integracijos platformas (pvz., SiO2 mažo nuostolio sluoksnių sujungimas).
Santrauka
LiTaO3 luitai yra strateginės medžiagos, keičiančios optoelektroniką ir kvantines technologijas. Įdiegdami inovacijas kristalų auginimo (pvz., PVT), defektų mažinimo ir heterogeninės integracijos (pvz., POI) srityse, teikiame didelio patikimumo, ekonomiškus sprendimus 5G/6G ryšiams, kvantiniams skaičiavimams ir pramoniniam daiktų internetui (IoT). „XKH“ įsipareigojimas skatinti luitų defektų mažinimą ir 8 colių gamybos mastą užtikrina klientams lyderystę pasaulinėse tiekimo grandinėse, skatindamas kitą plataus draudžiamojo tarpo puslaidininkių ekosistemų erą.

