LiTaO3 plokštelė 2 colių–8 colių 10x10x0,5 mm 1 sp 2 sp, skirta 5G/6G ryšiui
Techniniai parametrai
Vardas | Optinės klasės LiTaO3 | Garso lygio lentelė LiTaO3 |
Ašinis | Z pjūvis + / - 0,2 ° | 36° Y pjūvis / 42° Y pjūvis / X pjūvis (+ / - 0,2°) |
Skersmuo | 76,2 mm + / - 0,3 mm/ 100 ± 0,2 mm | 76,2 mm +/- 0,3 mm 100 mm +/- 0,3 mm arba 150 ± 0,5 mm |
Nulinė plokštuma | 22 mm +/- 2 mm | 22 mm +/- 2 mm 32 mm +/- 2 mm |
Storis | 500 µm +/- 5 mm 1000 µm +/- 5 mm | 500 µm +/- 20 mm 350 µm +/- 20 mm |
TTV | ≤ 10 µm | ≤ 10 µm |
Kiurio temperatūra | 605 °C +/- 0,7 °C (DTA metodas) | 605 °C + / -3 °C (DTA metodas |
Paviršiaus kokybė | Dvipusis poliravimas | Dvipusis poliravimas |
Nupjauti kraštai | kraštų apvalinimas | kraštų apvalinimas |
Pagrindinės charakteristikos
1. Elektrinės ir optinės charakteristikos
· Elektrooptinis koeficientas: r33 pasiekia 30 pm/V (X-cut), 1,5 karto daugiau nei LiNbO3, todėl galima atlikti itin plačiajuostę elektrooptinę moduliaciją (>40 GHz pralaidumas).
· Platus spektrinis atsakas: perdavimo diapazonas 0,4–5,0 μm (8 mm storis), o ultravioletinių spindulių sugerties riba – vos 280 nm, todėl idealiai tinka UV lazeriams ir kvantinių taškų įrenginiams.
· Mažas piroelektrinis koeficientas: dP/dT = 3,5 × 10⁻⁴ C/(m²·K), užtikrinantis stabilumą aukštos temperatūros infraraudonųjų spindulių jutikliuose.
2.Terminės ir mechaninės savybės
· Didelis šilumos laidumas: 4,6 W/m·K (X formos), keturis kartus didesnis nei kvarco, atlaiko -200–500 °C terminius ciklus.
· Mažas šiluminio plėtimosi koeficientas: CTE = 4,1 × 10⁻⁶/K (25–1000 °C), suderinamas su silikono pakuotėmis, kad būtų sumažintas šiluminis įtempis.
3. Defektų kontrolė ir apdorojimo tikslumas
· Mikrovamzdžio tankis: <0,1 cm⁻² (8 colių plokštelės), dislokacijų tankis <500 cm⁻² (patvirtinta KOH ėsdinimu).
· Paviršiaus kokybė: CMP poliravimas iki Ra <0,5 nm, atitinkantis EUV litografijos lygio lygumo reikalavimus.
Pagrindinės programos
Domenas | Taikymo scenarijai | Techniniai privalumai |
Optinės komunikacijos | 100G/400G DWDM lazeriai, silicio fotonikos hibridiniai moduliai | Platus LiTaO3 plokštelės spektrinis pralaidumas ir maži bangolaidžio nuostoliai (α <0,1 dB/cm) leidžia išplėsti C diapazoną. |
5G/6G ryšys | SAW filtrai (1,8–3,5 GHz), BAW-SMR filtrai | 42° Y kampu supjaustytos plokštelės pasiekia Kt² >15 %, užtikrindamos mažą įterpties nuostolį (<1,5 dB) ir didelį sukimo momentą (>30 dB). |
Kvantinės technologijos | Vieno fotono detektoriai, parametriniai žemyn konversijos šaltiniai | Didelis netiesinis koeficientas (χ(2) = 40 pm/V) ir mažas tamsos skaičiavimo greitis (<100 skaičiavimų/s) padidina kvantinį tikslumą. |
Pramoniniai jutikliai | Aukštos temperatūros slėgio jutikliai, srovės transformatoriai | LiTaO3 plokštelės pjezoelektrinis atsakas (g33 >20 mV/m) ir atsparumas aukštai temperatūrai (>400 °C) tinka ekstremalioms aplinkoms. |
XKH paslaugos
1. Individualių plokštelių gamyba
· Dydis ir pjovimas: 2–8 colių plokštelės su X/Y/Z pjūviu, 42° Y pjūviu ir nestandartiniais kampiniais pjūviais (±0,01° tolerancija).
· Dopingo kontrolė: Fe, Mg legiravimas Čochralskio metodu (koncentracijos diapazonas 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³), siekiant optimizuoti elektrooptinius koeficientus ir terminį stabilumą.
2. Pažangios procesų technologijos
· Periodinis poliarizacijos metodas (PPLT): „Smart-Cut“ technologija, skirta LTOI plokštelėms, pasiekianti ±10 nm srities periodo tikslumą ir kvazi-fazinį (QPM) dažnio konversiją.
· Heterogeninė integracija: Si pagrindu pagamintos LiTaO3 kompozicinės plokštelės (POI) su storio valdymu (300–600 nm) ir iki 8,78 W/m·K šilumos laidumu aukšto dažnio SAW filtrams.
3. Kokybės valdymo sistemos
· Išsamūs bandymai: Ramano spektroskopija (politipo patvirtinimas), XRD (kristališkumas), AFM (paviršiaus morfologija) ir optinio vienodumo bandymai (Δn <5×10⁻⁵).
4. Pasaulinė tiekimo grandinės parama
· Gamybos pajėgumai: mėnesinė produkcija >5 000 plokštelių (8 colių: 70 %), su 48 valandų skubiu pristatymu.
· Logistikos tinklas: aprėptis Europoje, Šiaurės Amerikoje ir Azijos bei Ramiojo vandenyno regione, gabenant oru / jūra su temperatūros kontroliuojamomis pakuotėmis.


