Turinys
1. FOUP apžvalga ir pagrindinės funkcijos
2. FOUP struktūra ir dizaino ypatybės
3. FOUP klasifikavimas ir taikymo gairės
4. FOUP veikimas ir svarba puslaidininkių gamyboje
5. Techniniai iššūkiai ir būsimos plėtros tendencijos
6. „XKH“ pritaikyti sprendimai ir paslaugų palaikymas
Puslaidininkių gamybos procese priekyje atidaromas vieningas konteineris (FOUP) yra labai svarbi talpykla, naudojama plokštelėms apsaugoti, transportuoti ir laikyti. Jo viduje telpa 25 300 mm plokštelių vienetai, o pagrindiniai komponentai yra priekyje atidaromas konteineris ir specialus durų rėmas atidarymui ir uždarymui. FOUP yra šerdies nešiklis automatinėje transportavimo sistemoje 12 colių plokštelių gamyklose. Paprastai jis transportuojamas uždarytoje būsenoje ir atsidaro tik pastūmus jį į įrangos pakrovimo angą, todėl plokšteles galima perkelti į įrangos pakrovimo / iškrovimo angą.
FOUP konstrukcija pritaikyta mikroaplinkos reikalavimams. Galinėje pusėje yra angos plokštelėms įdėti, o dangtis specialiai suprojektuotas taip, kad atitiktų atidarytuvo spaustuką. Plokštelių tvarkymo robotai veikia 1 klasės švaraus oro aplinkoje, užtikrindami, kad plokštelės nebūtų užterštos perdavimo metu. Be to, FOUP tarp proceso įrankių perkeliamas naudojant automatinę medžiagų tvarkymo sistemą (AMHS). Šiuolaikinės plokštelių gamyklos transportavimui dažniausiai naudoja viršutines bėgių sistemas, o kelios senesnės gamyklos gali naudoti antžemines automatiškai valdomas transporto priemones (AGV).
FOUP ne tik leidžia automatiškai perkelti plokšteles, bet ir atlieka sandėliavimo funkciją. Dėl daugybės gamybos etapų plokštelių gamyba gali užtrukti mėnesius. Kartu su dideliais mėnesiniais gamybos kiekiais tai reiškia, kad dešimtys tūkstančių vienoje gamykloje esančių plokštelių bet kuriuo metu yra nuolat transportuojamos arba laikinai sandėliuojamos. Sandėliavimo metu FOUP periodiškai prapučiamos azotu, kad su plokštelėmis nepatektų teršalų, užtikrinant švarų ir patikimą gamybos procesą.
1. FOUP funkcijos ir svarba
Pagrindinė FOUP funkcija – apsaugoti plokšteles nuo išorinių smūgių ir užteršimo, ypač vengiant poveikio išeigai perkėlimo metu. Ji efektyviai apsaugo nuo drėgmės, naudodama tokius metodus kaip dujų prapūtimas ir vietinė atmosferos kontrolė (LAC), užtikrindama, kad plokštelės išliktų saugios būklės laukiant kito gamybos etapo. Jos sandari ir kontroliuojama sistema praleidžia tik būtinus junginius ir elementus, taip žymiai sumažindama neigiamą lakiųjų organinių junginių, deguonies ir drėgmės poveikį plokštelėms.
Kadangi pilnai 25 plokštelėmis pakrautas FOUP gali sverti iki 9 kilogramų, jo transportavimui turi būti naudojama automatizuota medžiagų tvarkymo sistema (AMHS). Siekiant tai palengvinti, FOUP suprojektuotas su įvairiais jungiamųjų plokščių, kaiščių ir skylių deriniais ir aprūpintas RFID elektroninėmis žymėmis, kad būtų lengva identifikuoti ir klasifikuoti. Šis automatizuotas tvarkymas beveik nereikalauja rankinio darbo, todėl labai sumažėja klaidų skaičius ir padidėja gamybos proceso saugumas bei tikslumas.
2. FOUP struktūra ir klasifikacija
Tipiniai FOUP matmenys yra maždaug 420 mm pločio, 335 mm gylio ir 335 mm aukščio. Pagrindinės jo konstrukcinės dalys yra šios: viršutinė OHT (grybo galvutė), skirta transportuoti viršutiniu keltuvu; priekinės durys, skirtos įrangos plokštelei pasiekti; šoninės rankenos, dažnai spalvotai koduojamos, kad būtų galima atskirti skirtingo užterštumo lygio proceso zonas; kortelių skyrius pranešimų kortelėms įdėti; ir apatinė RFID žyma, kuri yra unikalus FOUP identifikatorius, leidžiantis įrankiams ir viršutiniams keltuvams jį atpažinti. Pagrinde taip pat yra keturios identifikavimo ir padėties nustatymo angos, skirtos suderinti su įrankiais ir atskirti proceso zonas.
Remiantis naudojimu, FOUP skirstomi į tris tipus: PRD (gamybai), ENG (inžinerinėms plokštelėms) ir MON (monitorinėms plokštelėms). PRD FOUP gali būti naudojami gaminių gamybai, ENG tipai tinka moksliniams tyrimams ir plėtrai arba eksperimentams, o MON tipai skirti procesų stebėjimui tokiuose etapuose kaip CMP ir DIFF. Svarbu pažymėti, kad PRD FOUP gali būti naudojami tiek ENG, tiek MON tikslais, o ENG tipai gali būti naudojami MON, tačiau atvirkštinis veiksmas kelia kokybės riziką.
Pagal užterštumo lygį FOUP galima suskirstyti į FE FOUP (priešinio proceso, be metalo), BE FOUP (galinio proceso, sudėtyje yra metalo) ir tuos, kurie skirti konkretiems metalo procesams, pvz., NI FOUP, CU FOUP ir CO FOUP. Skirtingų procesų FOUP paprastai skiriasi šoninių rankenų arba durų plokščių spalva. Priekinio proceso FOUP gali būti naudojami galiniuose procesuose, tačiau galinio proceso FOUP niekada negalima naudoti pradiniuose procesuose, nes tai kelia užterštumo riziką.
Būdama pagrindine puslaidininkių gamybos grandine, FOUP, pasitelkdama aukštą automatizavimo lygį ir griežtą užterštumo kontrolę, užtikrina plokštelių saugą ir švarą gamybos proceso metu, todėl yra nepakeičiama infrastruktūra šiuolaikinėse plokštelių gamyklose.
Išvada
„XKH“ yra įsipareigojusi teikti klientams itin individualius priekinio atidarymo vieningųjų kapsulių (FOUP) sprendimus, griežtai laikantis jūsų konkrečių proceso reikalavimų ir įrangos sąsajos specifikacijų. Pasitelkdami pažangias medžiagų technologijas ir tikslius gamybos procesus, užtikriname, kad kiekvienas FOUP produktas pasižymėtų išskirtiniu sandarumu, švara ir mechaniniu stabilumu. Mūsų techninė komanda turi didelę pramonės patirtį ir teikia išsamią gyvavimo ciklo paramą – nuo parinkimo konsultacijų ir konstrukcijos optimizavimo iki valymo ir priežiūros, – užtikrindama sklandžią integraciją ir efektyvų bendradarbiavimą tarp FOUP ir jūsų automatizuotos medžiagų tvarkymo sistemos (AMHS), taip pat apdorojimo įrangos. Mes nuolat teikiame pirmenybę plokštelių saugai ir gamybos našumo didinimui kaip pagrindiniams mūsų tikslams. Naudodami novatoriškus produktus ir visapusiškas technines paslaugas, suteikiame tvirtą garantiją jūsų puslaidininkių gamybos procesams, galiausiai padidindami gamybos efektyvumą ir produkto našumą.
Įrašo laikas: 2025 m. rugsėjo 8 d.