Šiuo metu mūsų įmonė gali ir toliau tiekti nedidelę 8 colių N tipo SiC plokštelių partiją, jei turite pavyzdžių, susisiekite su manimi. Turime keletą vaflių pavyzdžių, paruoštų išsiųsti.
Puslaidininkinių medžiagų srityje bendrovė padarė didelį proveržį didelių SiC kristalų tyrimų ir plėtros srityje. Naudodama savo sėklinius kristalus po kelių skersmens didinimo raundų, įmonė sėkmingai išaugino 8 colių N tipo SiC kristalus, kurie išsprendžia sudėtingas problemas, tokias kaip netolygus temperatūros laukas, kristalų įtrūkimai ir žaliavos pasiskirstymas dujų fazėje augimo procese. 8 colių SIC kristalai ir pagreitina didelio dydžio SIC kristalų augimą bei autonominę ir valdomą apdorojimo technologiją. Labai padidina įmonės pagrindinį konkurencingumą SiC monokristalinių substratų pramonėje. Tuo pat metu įmonė aktyviai skatina didelių gabaritų silicio karbido substrato paruošimo eksperimentinės linijos technologijų ir procesų kaupimą, stiprina techninius mainus ir pramoninį bendradarbiavimą tiekėjų ir pasrovių srityse bei bendradarbiauja su klientais, siekdama nuolat kartoti gaminio našumą ir bendradarbiauti. skatina pramoninį silicio karbido medžiagų panaudojimo tempą.
| 8 colių N tipo SiC DSP specifikacijos | |||||
| Skaičius | Prekė | Vienetas | Gamyba | Tyrimas | Manekenas |
| 1. Parametrai | |||||
| 1.1 | politipas | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | paviršiaus orientacija | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2. Elektrinis parametras | |||||
| 2.1 | priedo | -- | n tipo azotas | n tipo azotas | n tipo azotas |
| 2.2 | varža | omų · cm | 0,015 ~ 0,025 | 0,01 ~ 0,03 | NA |
| 3. Mechaninis parametras | |||||
| 3.1 | skersmuo | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | storio | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Įpjovos orientacija | ° | [1-100]±5 | [1-100]±5 | [1-100]±5 |
| 3.4 | Įpjovos gylis | mm | 1 ~ 1,5 | 1 ~ 1,5 | 1 ~ 1,5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤10 (10 mm * 10 mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Lankas | μm | -25-25 | -45-45 | -65-65 |
| 3.8 | Metmenys | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
| 4. Struktūra | |||||
| 4.1 | mikrovamzdelio tankis | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | metalo kiekis | atomų/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10 000 | NA |
| 5. Teigiama kokybė | |||||
| 5.1 | priekyje | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | paviršiaus apdaila | -- | Si-face CMP | Si-face CMP | Si-face CMP |
| 5.3 | dalelė | e/vaflis | ≤100 (dydis≥0,3 μm) | NA | NA |
| 5.4 | subraižyti | e/vaflis | ≤5,Bendras ilgis≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | Kraštas lustai/įdubimai/įtrūkimai/dėmės/užteršimas | -- | Nėra | Nėra | NA |
| 5.6 | Politipinės zonos | -- | Nėra | Plotas ≤10 % | Plotas ≤30 % |
| 5.7 | priekinis žymėjimas | -- | Nėra | Nėra | Nėra |
| 6. Nugaros kokybė | |||||
| 6.1 | nugaros apdaila | -- | C-face MP | C-face MP | C-face MP |
| 6.2 | subraižyti | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Nugaros krašto defektai lustai/įtraukos | -- | Nėra | Nėra | NA |
| 6.4 | Nugaros šiurkštumas | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Nugaros žymėjimas | -- | Įpjova | Įpjova | Įpjova |
| 7. Kraštelis | |||||
| 7.1 | kraštas | -- | Nusklembta | Nusklembta | Nusklembta |
| 8. Pakuotė | |||||
| 8.1 | pakavimas | -- | Epi-paruošta su vakuumu pakavimas | Epi-paruošta su vakuumu pakavimas | Epi-paruošta su vakuumu pakavimas |
| 8.2 | pakavimas | -- | Daugiasluoksnė plokštelė kasetės pakuotė | Daugiasluoksnė plokštelė kasetės pakuotė | Daugiasluoksnė plokštelė kasetės pakuotė |
Paskelbimo laikas: 2023-04-18