Aukščiausios kokybės safyriniai kėlimo kaiščiai. Monokristaliai Al₂O₃ plokšteliniai kėlimo kaiščiai.
Techniniai parametrai
| Cheminė sudėtis | Al₂O₃ |
| Kietumas | 9Mohs |
| Optinė prigimtis | Vienaašis |
| Lūžio rodiklis | 1,762–1,770 |
| Dvigubas lūžis | 0,008–0,010 |
| Dispersija | Žemas, 0,018 |
| Blizgesys | Stiklakūnis |
| Pleochroizmas | Vidutinis arba stiprus |
| Skersmuo | 0,4 mm–30 mm |
| Skersmens tolerancija | 0,004 mm–0,05 mm |
| ilgis | 2–150 mm |
| ilgio tolerancija | 0,03 mm–0,25 mm |
| Paviršiaus kokybė | 40/20 |
| Paviršiaus apvalumas | 0,05 RZ |
| Pasirinktinė forma | abu galai plokšti, vienas galas raudonas, abu galai raudoni, balnelio kaiščiai ir specialios formos |
Pagrindinės savybės
1. Išskirtinis kietumas ir atsparumas dilimui: Sapphire Lift Pins kietumas pagal Moso skalę yra 9, antras pagal deimantą, todėl jie pasižymi dilimo savybėmis, kurios gerokai pranoksta tradicines silicio karbido, aliuminio oksido keramikos ar metalo lydinių alternatyvas. Šis ypatingas kietumas reiškia žymiai mažesnį dalelių susidarymą ir priežiūros poreikį, o tarnavimo laikas paprastai yra 3–5 kartus ilgesnis nei įprastų medžiagų panašiose srityse.
2. Puikus atsparumas aukštai temperatūrai: Sapphire Lift Pins sukurti taip, kad atlaikytų ilgalaikį veikimą aukštesnėje nei 1000 °C temperatūroje be degradacijos, išlaiko matmenų stabilumą ir mechaninį stiprumą net ir sudėtingiausiuose terminiuose procesuose. Dėl to jie ypač vertingi kritinėse srityse, tokiose kaip cheminis garų nusodinimas (CVD), metalo organinių cheminių garų nusodinimas (MOCVD) ir aukštos temperatūros atkaitinimo sistemos, kur šiluminio plėtimosi neatitikimas gali pakenkti proceso išeigai.
3. Cheminis inertiškumas: Monokristalinė safyro struktūra pasižymi puikiu atsparumu HF rūgšties, chloro pagrindu pagamintų cheminių medžiagų ir kitų agresyvių proceso dujų, dažniausiai sutinkamų puslaidininkių gamyboje, poveikiui. Šis cheminis stabilumas užtikrina pastovų veikimą plazmos aplinkoje ir apsaugo nuo paviršiaus defektų, kurie galėtų sukelti plokštelių užteršimą, susidarymo.
4. Mažas dalelių užterštumas: Pagaminti iš be defektų, didelio grynumo safyro kristalų (paprastai >99,99 %), šie kėlimo kaiščiai pasižymi minimaliu dalelių išsiskyrimu net ir po ilgo naudojimo. Jų neporėta paviršiaus struktūra ir poliruota apdaila atitinka griežčiausius švarios patalpos reikalavimus, tiesiogiai prisidedant prie geresnių procesų našumo pažangioje mazginių puslaidininkių gamyboje.
Didelio tikslumo apdirbimas: naudojant pažangius deimantinio šlifavimo ir lazerinio apdorojimo metodus, „Sapphire Lift Pins“ gali būti gaminami su mažesniais nei mikrono tolerancijos nuokrypiais ir paviršiaus apdaila, kurios Ra yra mažesnė nei 0,05 μm. Individualios geometrijos, įskaitant kūginius profilius, specialias antgalių konfigūracijas ir integruotas lygiavimo funkcijas, gali būti suprojektuotos taip, kad būtų galima išspręsti specifinius plokštelių tvarkymo iššūkius naujos kartos gamybos įrangoje.
Pagrindinės programos
1. Puslaidininkių gamyba: safyriniai kėlimo kaiščiai atlieka itin svarbų vaidmenį pažangiose plokštelių apdorojimo sistemose, užtikrindami patikimą atramą ir tikslų padėties nustatymą fotolitografijos, ėsdinimo, nusodinimo ir tikrinimo procesų metu. Dėl savo terminio ir cheminio stabilumo jie ypač vertingi EUV litografijos įrankiuose ir pažangiose pakavimo programose, kur labai svarbus matmenų stabilumas nanometrų skalėje.
2. LED epitaksija (MOCVD): Galio nitrido (GaN) ir susijusiose sudėtinių puslaidininkių epitaksinio augimo sistemose safyro pakėlimo kaiščiai užtikrina stabilų plokštelių laikymą temperatūroje, dažnai viršijančioje 1000 °C. Jų suderintos šiluminio plėtimosi charakteristikos su safyro pagrindais sumažina plokštelių išlinkimą ir slydimo susidarymą epitaksinio augimo proceso metu.
3. Fotovoltinė pramonė: Didelio efektyvumo saulės elementų gamyboje naudojamos unikalios safyro savybės, būdingos difuzijai aukštoje temperatūroje, sukepinimui ir plonasluoksniam nusodinimui. Kaiščių atsparumas dilimui yra ypač vertingas masinės gamybos aplinkoje, kur komponentų ilgaamžiškumas tiesiogiai veikia gamybos sąnaudas.
4. Tikslioji optika ir elektronikos apdorojimas: Sapphire Lift Pins naudojami ne tik puslaidininkių srityje, bet ir dirbant su jautriais optiniais komponentais, MEMS įtaisais ir specialiais substratais, kur labai svarbu užtikrinti apdorojimą be užteršimo ir apsaugą nuo įbrėžimų. Dėl savo elektrinės izoliacijos savybių jie idealiai tinka taikymams, susijusiems su elektrostatiniam krūviui jautriais įtaisais.
XKH paslaugos, susijusios su safyro kėlimo kaiščiais
„XKH“ teikia išsamią techninę pagalbą ir individualius sprendimus „Sapphire Lift Pins“ kėlimo kaiščiams:
1. Individualaus kūrimo paslaugos
· Palaikymas matmenų, geometrinių elementų ir paviršiaus apdorojimo pritaikymui
· Medžiagų parinkimas ir techninių parametrų optimizavimo rekomendacijos
· Bendradarbiavimas kuriant gaminius ir atliekant modeliavimo patikrą
2. Tiksliosios gamybos pajėgumai
· Didelio tikslumo apdirbimas, kurio tolerancijos kontroliuojamos ±1 μm tikslumu
· Specialūs apdorojimo būdai, įskaitant veidrodinį poliravimą ir kraštų nušlifavimą
· Papildomi paviršiaus modifikavimo sprendimai, pavyzdžiui, nepridegančios dangos
3. Kokybės užtikrinimo sistema
· Griežtas gaunamų medžiagų patikrinimo ir procesų kontrolės įgyvendinimas
· Pilnamatė optinė apžiūra ir paviršiaus morfologijos analizė
· Produkto eksploatacinių savybių bandymų ataskaitų teikimas
4. Tiekimo grandinės paslaugos
· Greitas standartinių gaminių pristatymas
· Specialus atsargų valdymas pagrindiniams klientams
5. Techninė pagalba
· Konsultacijos dėl taikomųjų programų sprendimų
· Greitas aptarnavimas po pardavimo
Esame įsipareigoję tiekti aukštos kokybės „Sapphire Lift Pins“ gaminius ir teikti profesionalias technines paslaugas, kad atitiktume griežtus puslaidininkių, LED ir kitų pažangių pramonės šakų reikalavimus.
