Kvarco stiklo plokštelė JGS1 JGS2 BF33 plokštelė 8 colių 12 colių 725 ± 25 µm arba pritaikyta individualiems poreikiams
Specifikacija
Specifikacija | 4" | 6" | 8" | 10" | 12 colių |
Skersmuo | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 250 mm | 300 mm |
Storis | 0,10 mm | 0,30 mm | 0,40 mm | 0,50 mm | 0,50 mm |
Pagrindinis butas | 32,5 mm | 47,5 mm / 57,5 mm / Įpjova | Įpjova | Įpjova | Įpjova |
Ilgalaikės aprėpties riba (5 mm x 5 mm) | <0,5 μm | <0,5 μm | <0,5 μm | <0,5 μm | <0,5 μm |
TTV | < 2 µm | < 3 µm | <3 µm | <10 µm | <10 µm |
Lankas | ±20 µm | ±30 µm | ±40 µm | ±40 µm | ±40 µm |
Metmenys | ≤ 30 µm | ≤ 40 µm | ≤ 70 μm | ≤ 80 μm | ≤ 80 μm |
Kraštų apvalinimas | Atitinka SEMI M1.2 standartą / žr. IEC62276 | ||||
Paviršiaus tipas | Vienpusis poliravimas / Dvipusis poliravimas | ||||
Poliruota pusė Ra | Ra≤1nm | ||||
Galinės pusės kriterijai | Ra 0,2–0,7 μm arba pritaikyta |
Kvarco stiklo plokštelė JGS1 JGS2 BF33 plokštelės parametrų lentelė
Paraiška
Kvarco stiklo plokštelės, pagamintos iš JGS1, JGS2 ir BF33, yra plačiai naudojamos įvairiose didelio tikslumo pramonės šakose. Šios plokštelės idealiai tinka puslaidininkių gamybai, įskaitant fotokaukių substratus ir plokštelių lygio optiką. Jos taip pat tinka optiniams komponentams, lazeriams ir jutikliams tokiose pramonės šakose kaip telekomunikacijos, aviacija ir kosmoso pramonė bei medicinos prietaisai. Dėl didelio terminio stabilumo ir atsparumo terminiam smūgiui jos puikiai tinka ekstremalių temperatūrų aplinkai, o išskirtinis pralaidumas yra labai svarbus ultravioletinių (UV) ir infraraudonųjų spindulių (IR) optikai.
Ypatybės
Medžiagų tipai:
JGS1: Didelis UV pralaidumas, puikiai tinka ultravioletinių spindulių taikymui.
JGS2: subalansuotas pralaidumas UV, matomoje ir infraraudonųjų spindulių srityse, tinkamas bendram optiniam naudojimui.
BF33: borosilikatinis stiklas, pasižymintis dideliu atsparumu cheminėms medžiagoms ir terminiam poveikiui. Dydžių parinktys:
Galima įsigyti standartinių 8 colių ir 12 colių plokštelių dydžių.
Individualūs dydžiai gali būti gaminami pagal konkrečius reikalavimus. Storis:
Standartinis storis yra 725 ± 25 μm.
Galima pritaikyti storį, kad atitiktų skirtingus pramonės poreikius.
Terminės savybės:
Puikus terminis stabilumas, tinkamas naudoti aukštoje temperatūroje.
Didelis atsparumas terminiam šokui.
Cheminis atsparumas:
Didelis atsparumas rūgščių, šarmų ir daugumos cheminių medžiagų, ypač BF33, korozijai.
Optinės savybės:
JGS1 ir JGS2 plokštelės pasižymi dideliu optiniu pralaidumu ultravioletinių (UV), matomų ir infraraudonųjų spindulių (IR) diapazonuose.
Idealiai tinka tiksliems optiniams komponentams, fotonikai ir lazerių taikymams.
Paviršiaus kokybė:
Didelis paviršiaus lygumas ir glotnumas, užtikrinantis tikslumą puslaidininkių ir optinių prietaisų gamyboje.
Dėl šių savybių JGS1, JGS2 ir BF33 plokštelės yra universalios ir patikimos, tinkamos naudoti didelio našumo srityse tokiose pramonės šakose kaip optika, elektronika ir puslaidininkiai.
Apskritai
Kvarco stiklo plokštelės, pagamintos iš JGS1, JGS2 ir BF33, pasižymi išskirtinėmis savybėmis įvairiose reikliose srityse. Šios plokštelės, kurios yra standartinių 8 colių ir 12 colių dydžių, o storis – 725 ± 25 μm, taip pat gali būti pritaikytos konkretiems reikalavimams. JGS1 ir JGS2 užtikrina didelį optinį pralaidumą UV, matomoje ir IR spinduliuotėje, o BF33 pasižymi puikiu atsparumu cheminėms medžiagoms ir terminiu stabilumu. Dėl didelio paviršiaus lygumo ir glotnumo šios plokštelės idealiai tinka tiksliosios pramonės šakoms, tokioms kaip puslaidininkių, optikos ir fotonikos gamyba, užtikrinant patikimumą ir ilgaamžiškumą ekstremaliomis sąlygomis ir kritinėse srityse.
Detali schema

