Kvarcinio stiklo plokštelė JGS1 JGS2 BF33 plokštelė 8 colių 12 colių 725 ± 25 um arba pritaikyta
Specifikacija
Spec | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
Skersmuo | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 250 mm | 300 mm |
Storis | 0,10 mm | 0,30 mm | 0,40 mm | 0,50 mm | 0,50 mm |
Pirminis butas | 32,5 mm | 47,5 mm / 57,5 mm / Įpjova | Įpjova | Įpjova | Įpjova |
LTV (5 mm x 5 mm) | < 0,5 um | < 0,5 um | < 0,5 um | < 0,5 um | < 0,5 um |
TTV | < 2um | < 3um | <3 um | <10 um | <10 um |
Lankas | ±20 um | ±30 um | ±40 um | ±40 um | ±40 um |
Metmenys | ≤ 30 um | ≤ 40 um | ≤ 70 um | ≤ 80 um | ≤ 80 um |
Kraštų apvalinimas | Atitinka SEMI M1.2 standartą / žr. IEC62276 | ||||
Paviršiaus tipas | Vienpusis poliruotas / Dvipusis poliruotas | ||||
Poliruota pusė Ra | Ra≤1nm | ||||
Galinės pusės kriterijai | Ra 0,2–0,7 um arba pritaikytas |
Quartz Glass Wafer JGS1 JGS2 BF33 Wafer parametrų lentelė
Taikymas
Kvarcinio stiklo plokštelės, pagamintos iš JGS1, JGS2 ir BF33, yra plačiai naudojamos įvairiose didelio tikslumo pramonės šakose. Šios plokštelės idealiai tinka puslaidininkių gamybai, įskaitant fotokaukės pagrindus ir plokštelės lygio optiką. Jie taip pat tinka optiniams komponentams, lazeriams ir jutikliams tokiose pramonės šakose kaip telekomunikacijos, aviacija ir medicinos prietaisai. Dėl didelio šiluminio stabilumo ir atsparumo šiluminiam smūgiui jie puikiai tinka ekstremalioms temperatūroms, o išskirtinis jų pralaidumas yra labai svarbus ultravioletinių (UV) ir infraraudonųjų (IR) optikos elementų atžvilgiu.
Savybės
Medžiagų tipai:
JGS1: didelis UV pralaidumas, puikiai tinka ultravioletiniams spinduliams.
JGS2: subalansuotas pralaidumas UV, matomajame ir infraraudonųjų spindulių diapazonuose, tinka bendram optiniam naudojimui.
BF33: Borosilikatinis stiklas, pasižymintis dideliu cheminiu atsparumu ir terminiu patvarumu. Dydžio parinktys:
Galimi standartiniai 8 colių ir 12 colių vaflių dydžiai.
Pagal konkrečius reikalavimus galima pagaminti individualius dydžius. Storis:
Standartinis storis yra 725 ± 25 μm.
Galima pritaikyti storį, kad atitiktų įvairius pramonės poreikius.
Šiluminės savybės:
Puikus terminis stabilumas, tinkamas naudoti aukštos temperatūros aplinkoje.
Didelis atsparumas šiluminiam smūgiui.
Cheminis atsparumas:
Didelis atsparumas korozijai nuo rūgščių, šarmų ir daugumos cheminių medžiagų, ypač BF33.
Optinės savybės:
JGS1 ir JGS2 plokštelės pasižymi dideliu optiniu pralaidumu ultravioletinių (UV), matomų ir infraraudonųjų (IR) spindulių diapazonuose.
Idealiai tinka tiksliams optiniams komponentams, fotonikai ir lazeriams.
Paviršiaus kokybė:
Didelis paviršiaus lygumas ir lygumas, užtikrinantis puslaidininkių ir optinių įrenginių gamybos tikslumą.
Dėl šių savybių JGS1, JGS2 ir BF33 plokštelės yra universalios ir patikimos didelio našumo reikmėms įvairiose pramonės šakose, tokiose kaip optika, elektronika ir puslaidininkiai.
Apskritai
Kvarcinio stiklo plokštelės, pagamintos iš JGS1, JGS2 ir BF33, pasižymi išskirtiniu našumu įvairiose sudėtingose srityse. Galimi standartiniai 8 colių ir 12 colių dydžiai, kurių storis 725 ± 25 μm. Šios plokštelės taip pat pritaikomos, kad atitiktų specifinius reikalavimus. JGS1 ir JGS2 užtikrina aukštą optinį pralaidumą UV, matomoje ir IR diapazonuose, o BF33 pasižymi puikiu cheminiu atsparumu ir terminiu stabilumu. Dėl didelio paviršiaus plokštumo ir glotnumo šios plokštelės idealiai tinka tikslioms pramonės šakoms, tokioms kaip puslaidininkiai, optika ir fotonika, užtikrinant patikimumą ir ilgaamžiškumą ekstremaliose aplinkose ir kritinėse srityse.