SiC keraminė šakutė / galinis efektorius – pažangus tikslus valdymas puslaidininkių gamyboje

SiC keraminė šakutė / galinis efektorius – pažangus tikslus valdymas puslaidininkių gamybai. Iliustracija

Trumpas aprašymas:

SiC keraminė šakinė svirtis, dažnai vadinama keraminiu galiniu efektoriumi, yra didelio našumo tikslumo valdymo komponentas, specialiai sukurtas plokštelių transportavimui, derinimui ir pozicionavimui aukštųjų technologijų pramonėje, ypač puslaidininkių ir fotovoltinių elementų gamyboje. Pagamintas iš didelio grynumo silicio karbido keramikos, šis komponentas pasižymi išskirtiniu mechaniniu stiprumu, itin mažu šiluminiu plėtimusi ir puikiu atsparumu šiluminiam smūgiui bei korozijai.

Siųskite mums el. laišką

Savybės

Detali schema

Produkto apžvalga

Skirtingai nuo tradicinių galinių efektorių, pagamintų iš aliuminio, nerūdijančio plieno ar net kvarco, SiC keraminiai galiniai efektoriai pasižymi neprilygstamu našumu vakuuminėse kamerose, švariose patalpose ir atšiaurioje apdorojimo aplinkoje, todėl jie yra svarbi naujos kartos plokštelių apdorojimo robotų dalis. Didėjant užterštos gamybos ir griežtesnių tolerancijų poreikiui lustų gamyboje, keraminių galinių efektorių naudojimas sparčiai tampa pramonės standartu.

Gamybos principas

GamybaSiC keraminiai galiniai efektoriaiapima daugybę didelio tikslumo, didelio grynumo procesų, užtikrinančių tiek našumą, tiek ilgaamžiškumą. Paprastai naudojami du pagrindiniai procesai:

Reakciniu būdu sujungtas silicio karbidas (RB-SiC)

Šiame procese iš silicio karbido miltelių ir rišiklio pagamintas ruošinys aukštoje temperatūroje (~1500 °C) infiltruojamas išlydytu siliciu, kuris reaguoja su likusia anglimi ir sudaro tankų, standų SiC-Si kompozitą. Šis metodas pasižymi puikia matmenų kontrole ir yra ekonomiškas didelio masto gamybai.

Beslėgis sukepintas silicio karbidas (SSiC)

SSiC gaminamas itin aukštoje temperatūroje (> 2000 °C) sukepinant itin smulkius, labai grynus SiC miltelius, nenaudojant priedų ar rišamosios fazės. Taip gaunamas produktas, kurio tankis beveik 100 %, o mechaninės bei terminės savybės iš visų SiC medžiagų yra aukščiausios. Jis idealiai tinka itin kritinėms plokštelių tvarkymo reikmėms.

Tolesnis apdorojimas

Tikslus CNC apdirbimasPasiekiamas didelis lygumas ir lygiagretumas.
Paviršiaus apdailaDeimantinis poliravimas sumažina paviršiaus šiurkštumą iki <0,02 µm.
ApžiūraKiekvienam gaminiui patikrinti naudojama optinė interferometrija, KMM ir neardomoji kontrolė.

Šie žingsniai garantuoja, kadSiC galinis efektoriusužtikrina pastovų plokštelių išdėstymo tikslumą, puikų plokštumą ir minimalų dalelių susidarymą.

Pagrindinės savybės ir privalumai

Funkcija	Aprašymas
Itin didelis kietumas	Vikerso kietumas > 2500 HV, atsparus dilimui ir skilinėjimui.
Mažas šiluminis plėtimasis	CTE ~4,5 × 10⁻⁶/K, užtikrinantis matmenų stabilumą terminio ciklavimo metu.
Cheminis inertiškumas	Atsparus HF, HCl, plazmos dujoms ir kitoms korozinėms medžiagoms.
Puikus atsparumas terminiam smūgiui	Tinka greitam šildymui / aušinimui vakuuminėse ir krosnių sistemose.
Didelis standumas ir stiprumas	Išlaiko ilgas konsolines šakių svirtis be išlinkimo.
Mažas dujų išmetimas	Idealiai tinka itin aukšto vakuumo (UHV) aplinkoms.
ISO 1 klasės švarioms patalpoms pritaikytas	Dalelių neturintis veikimas užtikrina plokštelių vientisumą.

Paraiškos

SiC keraminė šakinė svirtis / galinis efektorius yra plačiai naudojamas pramonės šakose, kurioms reikalingas ypatingas tikslumas, švara ir atsparumas cheminėms medžiagoms. Pagrindiniai taikymo scenarijai:

Puslaidininkių gamyba

Plokštelių įkrovimas/iškrovimas nusodinimo (CVD, PVD), ėsdinimo (RIE, DRIE) ir valymo sistemose.
Robotinis plokštelių transportavimas tarp FOUP, kasečių ir proceso įrankių.
Aukštos temperatūros apdorojimas terminio apdorojimo arba atkaitinimo metu.

Fotovoltinių elementų gamyba

Subtilus trapių silicio plokštelių arba saulės pagrindų transportavimas automatizuotomis linijomis.

Plokščiųjų ekranų (FPD) pramonė

Didelių stiklo plokščių ar pagrindų perkėlimas OLED/LCD gamybos aplinkoje.

Sudėtiniai puslaidininkiai / MEMS

Naudojamas GaN, SiC ir MEMS gamybos linijose, kur labai svarbi užterštumo kontrolė ir padėties nustatymo tikslumas.

Jo, kaip galutinio efektoriaus, vaidmuo yra ypač svarbus užtikrinant defektų neturintį ir stabilų valdymą atliekant jautrias operacijas.

Pritaikymo galimybės

Siūlome platų pritaikymą, kad atitiktų įvairius įrangos ir procesų reikalavimus:

Šakių dizainasDviejų šakių, kelių pirštų arba dviejų lygių išdėstymai.
Vaflių dydžio suderinamumasNuo 2 iki 12 colių plokštelių.
Montavimo sąsajosSuderinamas su originalios įrangos gamintojų (OEM) robotinėmis rankomis.
Storio ir paviršiaus tolerancijos: Galimas mikrono lygio lygumas ir kraštų apvalinimas.
Neslystančios savybėsPasirinktinai paviršiaus tekstūros arba dangos, skirtos saugiam plokštelių sukibimui.

Kiekvienaskeraminis galinis efektoriusyra sukurtas kartu su klientais, siekiant užtikrinti tikslų pritaikymą su minimaliais įrankių pakeitimais.

Dažnai užduodami klausimai (DUK)

1 klausimas: Kuo SiC yra geresnis už kvarcą, kai naudojamas galinio efektoriaus srityje?
A1:Nors kvarcas dažniausiai naudojamas dėl savo grynumo, jam trūksta mechaninio atsparumo ir jis linkęs lūžti veikiant apkrovai ar temperatūros šokui. SiC pasižymi didesniu stiprumu, atsparumu dilimui ir terminiu stabilumu, todėl žymiai sumažėja prastovų ir plokštelių pažeidimo rizika.

2 klausimas: Ar ši keraminė šakė suderinama su visais robotiniais plokštelių apdirbėjais?
A2:Taip, mūsų keraminiai galiniai efektoriai yra suderinami su dauguma pagrindinių plokštelių apdorojimo sistemų ir gali būti pritaikyti jūsų konkretiems robotų modeliams, naudojant tikslius inžinerinius brėžinius.

3 klausimas: Ar jis gali apdoroti 300 mm plokšteles be deformacijos?
A3:Be abejo. Dėl didelio SiC standumo net plonos, ilgos šakės tvirtai laiko 300 mm plokšteles, jos judesio metu nesulinkdamos ir nelinkdamos.

4 klausimas: koks yra tipinis SiC keraminio efektoriaus tarnavimo laikas?
A4:Tinkamai naudojant, SiC galinis efektorius gali tarnauti 5–10 kartų ilgiau nei tradiciniai kvarco ar aliuminio modeliai, nes yra labai atsparus terminiam ir mechaniniam įtempimui.

5 klausimas: Ar siūlote pakaitalus ar greito prototipų kūrimo paslaugas?
A5:Taip, mes palaikome greitą pavyzdžių gamybą ir siūlome pakeitimo paslaugas, pagrįstas CAD brėžiniais arba atvirkštinės inžinerijos dalimis iš esamos įrangos.

Apie mus

„XKH“ specializuojasi aukštųjų technologijų kūrime, gamyboje ir pardavime, susijusiame su specialiu optiniu stiklu ir naujomis kristalinėmis medžiagomis. Mūsų produktai skirti optinei elektronikai, plataus vartojimo elektronikai ir kariuomenei. Siūlome safyro optinius komponentus, mobiliųjų telefonų lęšių dangtelius, keramiką, lengvą stiklo pluoštą, silicio karbido SIC, kvarco ir puslaidininkinių kristalų plokšteles. Turėdami kvalifikuotų specialistų patirtį ir pažangiausią įrangą, mes puikiai atliekame nestandartinių gaminių apdorojimą ir siekiame tapti pirmaujančia optoelektroninių medžiagų aukštųjų technologijų įmone.