SiC keramikos padėklo plokštelinis grafitas su CVD SiC danga įrangai

SiC keraminio padėklo plokštės grafitas su CVD SiC danga įrangai Teminis vaizdas

Trumpas aprašymas:

„Shanghai Xinkehui New Materials Co., Ltd.“ gamina Φ380–Φ600 mm puslaidininkinį ėsdinimo diską, plokštelių guolių diską, silicio karbido dėklą, SIC dėklą, silicio karbido padėklą, ICP ėsdinimo padėklą, ėsdinimo padėklą, silicio karbido grynumas > 99,9%, SIC tarnavimo laikas > 99,9%. yra keturis kartus didesnis už grafito pagrindo CVD dėklą, ilgalaikis naudojimas be deformacijos, Atsparus FH rūgščiai, koncentruotai H2So4 korozijai.

Atsiųskite mums el

Produkto detalė

Produkto etiketės

Silicio karbido keramika naudojama ne tik plonos plėvelės nusodinimo stadijoje, pvz., epitaksijos arba MOCVD, arba plokštelių apdorojimui, kurio centre MOCVD plokštelių laikiklio padėklai pirmiausia yra veikiami nusodinimo aplinkos, todėl yra labai atsparūs šiluma ir korozija.SiC padengti nešikliai taip pat pasižymi dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis.

Gryno cheminio nusodinimo garais silicio karbido (CVD SiC) plokštelių laikikliai, skirti aukštos temperatūros metalo organinio cheminio nusodinimo garais (MOCVD) apdorojimui.

Gryni CVD SiC plokštelių laikikliai yra žymiai pranašesni už įprastus šiame procese naudojamus plokštelių laikiklius, kurie yra grafito ir padengti CVD SiC sluoksniu. šie dengti grafito pagrindu pagaminti laikikliai negali atlaikyti aukštų temperatūrų (1100–1200 laipsnių Celsijaus), reikalingos šiandieninio didelio ryškumo mėlynos ir baltos šviesos diodų GaN nusodinimui. Dėl aukštos temperatūros dangoje susidaro mažytės skylutės, per kurias proceso chemikalai ardo po jo esantį grafitą. Tada grafito dalelės atsisluoksniuoja ir užteršia GaN, todėl padengtas plokštelių laikiklis turi būti pakeistas.

CVD SiC grynumas yra 99,999 % arba didesnis, jis turi aukštą šilumos laidumą ir atsparumą šiluminiam smūgiui. Todėl jis gali atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurias didelio ryškumo LED gamybos sąlygas. Tai kieta monolitinė medžiaga, kuri pasiekia teorinį tankį, gamina minimaliai daleles ir pasižymi dideliu atsparumu korozijai ir erozijai. Medžiaga gali pakeisti neskaidrumą ir laidumą neįnešdama metalinių priemaišų. Plokščių laikikliai paprastai yra 17 colių skersmens ir gali laikyti iki 40 2–4 colių plokštelių.