Silicio karbido konsolinis irklas (SiC konsolinis irklas)

Trumpas aprašymas:

Siųskite mums el. laišką

Savybės

Detali schema

Produkto apžvalga

Silicio karbido konsolinė mentė, pagaminta iš didelio našumo reakcijos būdu sujungto silicio karbido (RBSiC), yra labai svarbus komponentas, naudojamas puslaidininkių ir fotovoltinių įrenginių plokštelių įkrovimo ir tvarkymo sistemose.
Palyginti su tradiciniais kvarco ar grafito mentelėmis, SiC konsolinės mentelės pasižymi geresniu mechaniniu stiprumu, dideliu kietumu, mažu šiluminiu plėtimusi ir išskirtiniu atsparumu korozijai. Jos išlaiko puikų konstrukcinį stabilumą esant aukštai temperatūrai, atitinka griežtus didelių plokštelių dydžių, ilgo tarnavimo laiko ir itin mažo užterštumo reikalavimus.

Nuolat tobulėjant puslaidininkių procesams siekiant didesnių plokštelių skersmenų, didesnio našumo ir švaresnės apdorojimo aplinkos, SiC konsolinės mentelės palaipsniui pakeitė įprastas medžiagas ir tapo pageidaujamu pasirinkimu difuzinėms krosnims, LPCVD ir susijusiai aukštos temperatūros įrangai.

Produkto savybės

Puikus stabilumas aukštoje temperatūroje
- Patikimai veikia 1000–1300 ℃ temperatūroje be deformacijos.
- Maksimali darbinė temperatūra iki 1380 ℃.
Didelė apkrova
- Lenkimo stipris iki 250–280 MPa, daug didesnis nei kvarcinių mentelių.
- Geba apdoroti didelio skersmens plokšteles (300 mm ir daugiau).
Ilgesnis tarnavimo laikas ir maža priežiūra
- Mažas šiluminio plėtimosi koeficientas (4,5 × 10⁻⁶ K⁻¹), gerai dera su LPCVD dangų medžiagomis.
- Sumažina dėl įtempio sukeltus įtrūkimus ir lupimąsi, žymiai pailgindamas valymo ir priežiūros ciklus.
Atsparumas korozijai ir grynumas
- Puikus atsparumas rūgštims ir šarmams.
- Tanki mikrostruktūra su atviru poringumu <0,1%, sumažinanti dalelių susidarymą ir priemaišų išsiskyrimą.
Su automatizavimu suderinamas dizainas
- Stabili skerspjūvio geometrija su dideliu matmenų tikslumu.
- Sklandžiai integruojasi su robotinėmis plokštelių pakrovimo ir iškrovimo sistemomis, todėl gamyba yra visiškai automatizuota.

Fizikinės ir cheminės savybės

Prekė	Vienetas	Duomenys
Maksimali darbinė temperatūra	℃	1380 m.
Tankis	g/cm³	3.04–3.08
Atviras poringumas	%	< 0,1
Lenkimo stipris	MPa	250 (20 ℃), 280 (1200 ℃)
Elastingumo modulis	GPa	330 (20 ℃), 300 (1200 ℃)
Šilumos laidumas	W/m·K	45 (1200 ℃)
Šiluminio plėtimosi koeficientas	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
Vikerso kietumas	HV2	≥ 2100
Atsparumas rūgštims / šarmams	-	Puiku

Standartiniai ilgiai:2378 mm, 2550 mm, 2660 mm
Nestandartiniai matmenys galimi pagal pageidavimą

Paraiškos

Puslaidininkių pramonė
- LPCVD (žemo slėgio cheminis garų nusodinimas)
- Difuzijos procesai (fosforas, boras ir kt.)
- Terminis oksidavimas
Fotovoltinė pramonė
- Polikristalinių ir monokristalinių plokštelių difuzija ir dengimas
- Aukštos temperatūros atkaitinimas ir pasyvavimas
Kiti laukai
- Aukštos temperatūros korozinė aplinka
- Tikslios plokštelių apdorojimo sistemos, kurioms reikalingas ilgas tarnavimo laikas ir mažas užterštumas

Kliento nauda

Sumažintos eksploatavimo išlaidos– Ilgesnis tarnavimo laikas, palyginti su kvarciniais mentelėmis, sumažina prastovas ir keitimo dažnumą.
Didesnis derlius– Ypač mažas užterštumas užtikrina plokštelių paviršiaus švarą ir sumažina defektų skaičių.
Ateities įrodymas– Suderinamas su dideliais plokštelių dydžiais ir naujos kartos puslaidininkių procesais.
Pagerintas produktyvumas– Visiškai suderinamas su robotų automatizavimo sistemomis, palaikantis didelio masto gamybą.

DUK – silicio karbido konsolinis mentelis

1 klausimas: Kas yra silicio karbido konsolinis irklas?
A: Tai plokštelių laikymo ir tvarkymo komponentas, pagamintas iš reakcijos būdu sujungto silicio karbido (RBSiC). Jis plačiai naudojamas difuzinėse krosnyse, LPCVD ir kituose aukštos temperatūros puslaidininkių bei fotovoltiniuose procesuose.

2 klausimas: Kodėl verta rinktis SiC, o ne kvarcinius menteles?
A: Palyginti su kvarciniais irklais, SiC irklai pasižymi:

Didesnis mechaninis stiprumas ir apkrovos pajėgumas
Geresnis terminis stabilumas esant temperatūrai iki 1380 ℃
Daug ilgesnis tarnavimo laikas ir trumpesni priežiūros ciklai
Mažesnė dalelių susidarymo ir užteršimo rizika
Suderinamumas su didesniais plokštelių dydžiais (300 mm ir daugiau)

3 klausimas: Kokio dydžio plokšteles gali palaikyti SiC konsolinė mentė?
A: Standartinės mentelės yra skirtos 2378 mm, 2550 mm ir 2660 mm krosnių sistemoms. Galimi ir individualūs matmenys, skirti iki 300 mm ir didesnėms plokštelėms.

Apie mus

„XKH“ specializuojasi aukštųjų technologijų kūrime, gamyboje ir pardavime, susijusiame su specialiu optiniu stiklu ir naujomis kristalinėmis medžiagomis. Mūsų produktai skirti optinei elektronikai, plataus vartojimo elektronikai ir kariuomenei. Siūlome safyro optinius komponentus, mobiliųjų telefonų lęšių dangtelius, keramiką, lengvą stiklo pluoštą, silicio karbido SIC, kvarco ir puslaidininkinių kristalų plokšteles. Turėdami kvalifikuotų specialistų patirtį ir pažangiausią įrangą, mes puikiai atliekame nestandartinių gaminių apdorojimą ir siekiame tapti pirmaujančia optoelektroninių medžiagų aukštųjų technologijų įmone.