Silicio karbido keraminis efektorius (šakutės formos/rankos tipo)

Silicio karbido keraminis efektorius (šakutės / rankos tipo)

Trumpas aprašymas:

Silicio karbido keraminis efektorius yra didelio tikslumo apdorojimo komponentas, sukurtas puslaidininkių gamybai, fotonikai, automatizuotai robotikai ir pažangiam medžiagų apdorojimui. Sukurtas šakės/rankos konfigūracijos silicio karbido keraminis efektorius pasižymi išskirtiniu matmenų stabilumu, itin dideliu standumu ir itin mažu dalelių susidarymu, todėl idealiai tinka jautrioms plokštelių ir padėklų perkėlimo operacijoms.

Siųskite mums el. laišką

Savybės

Detali schema

Silicio karbido keraminis efektorius (šakutės formos/rankos tipo)

Kvarco stiklo apžvalga

TheSilicio karbido keraminis galinis efektoriusyra didelio tikslumo valdymo komponentas, sukurtas puslaidininkių gamybai, fotonikai, automatizavimo robotikai ir pažangiam medžiagų apdorojimui. Sukurtas šakės / rankos konfigūracijoje,Silicio karbido keraminis galinis efektoriusužtikrina išskirtinį matmenų stabilumą, itin didelį standumą ir itin mažą dalelių susidarymą, todėl idealiai tinka jautrioms plokštelių ir substratų perkėlimo operacijoms.

Skirtingai nuo tradicinių metalinių ar polimerinių įrankių,Silicio karbido keraminis galinis efektoriusgali išlaikyti formos tikslumą esant ekstremalioms temperatūroms, cheminėms medžiagoms ir vakuuminėje aplinkoje. Dėl itin plokščio atraminio paviršiaus užtikrinamas stabilus silicio plokštelių, stiklo substratų, safyro optikos, SiC plokštelių ir kitų trapių medžiagų laikymas. Dėl lengvos, bet tvirtos konstrukcijos...Silicio karbido keraminis galinis efektoriussumažina vibraciją, padidina našumą ir sumažina mechaninį įtempį greito roboto pagreičio metu.

Sukurtas taip, kad būtų užtikrintas nulinis užterštumas,Silicio karbido keraminis galinis efektoriusplačiai naudojamas FOUP įkrovimo prievaduose, EFEM moduliuose, litografijos sistemose, vakuuminio perdavimo įrankiuose ir metrologijos stotyse – užtikrina patikimą, didelio grynumo sąsają tarp automatizavimo įrangos ir vertingų medžiagų.

Gamybos principas

TheSilicio karbido keraminis galinis efektoriusgaminamas naudojant specializuotą keramikos gamybos procesą, kuris garantuoja aukštą grynumą, didelį tankį ir ilgalaikį patikimumą. Viso gamybos proceso metu griežta kokybės kontrolė užtikrina, kad kiekvienasSilicio karbido keraminis galinis efektoriusatitinka griežtus puslaidininkių klasės automatizuotų sistemų reikalavimus.

1. Medžiagos paruošimas

Gamyba prasideda nuo didelio grynumo SiC miltelių atrankos. Šie milteliai lemia mechaninį stiprumą ir grynumą.Silicio karbido keraminis galinis efektoriusSpecialūs rišikliai ir sukepinimo priedai sumaišomi siekiant idealaus dalelių supakuotumo ir skatinti vienodą tankinimą.

2. Formavimas ir formavimas

Žalias kūnasSilicio karbido keraminis galinis efektoriusformuojamas naudojant izostatinį presavimą arba keraminį liejimą. Tai užtikrina įtempių požiūriu subalansuotą struktūrą su minimaliais vidiniais defektais. Šiame etape šakutės formos geometrija formuojama taip, kad atitiktų plokštelių skersmenis ir robotų tvirtinimo sąsajas.

3. Aukštos temperatūros sukepinimas

Formuotas komponentas yra sukepinamas vakuume arba inertinėje atmosferoje, aukštesnėje nei 2000 °C temperatūroje. Šio etapo metuSilicio karbido keraminis galinis efektoriuspasiekia beveik teorinį tankį, užtikrindamas puikų kietumą, atsparumą terminiam smūgiui ir cheminį stabilumą. Šiame etape apibrėžiamas komponento mechaninis vientisumas.

4. Tikslus CNC apdirbimas

Po sukepinimo, deimantinio šlifavimo ir daugiaašio CNC apdirbimo būdu patikslinama geometrijaSilicio karbido keraminis galinis efektoriusSvarbiausios detalės, tokios kaip plokštelių sąlyčio paviršiai, tvirtinimo angos, lygiavimo grioveliai ir šakių tarpai, yra apdirbamos iki ±0,01 mm tikslumu.

5. Paviršiaus apdaila ir valymas

Galiausiai,Silicio karbido keraminis galinis efektoriusatliekamas itin smulkus poliravimas ir didelio grynumo ultragarsinis valymas. Šis žingsnis sumažina paviršiaus šiurkštumą ir pašalina mikrodaleles, užtikrindamas suderinamumą su švariomis patalpomis. Pasirinktinai pasirenkamos CVD-SiC dangos arba plazmai atsparūs sluoksniai gali dar labiau padidinti patvarumą.

Šis kruopštus gamybos metodas užtikrina, kad kiekvienasSilicio karbido keraminis galinis efektoriuspatikimai veikia didelio tikslumo automatizavimo aplinkoje.

Paraiškos

TheSilicio karbido keraminis galinis efektoriusskirtas pramonės šakoms, kuriose švara, tikslumas ir patikimumas yra neginčijami. Dėl šakės formos rankenos/rankos konstrukcijos jis tinka robotinėms rankoms, surinkimo ir įdėjimo sistemoms, vakuuminiams perkėlimo įrankiams ir pažangioms tikrinimo platformoms.

1. Puslaidininkių gamyba

Puslaidininkių gamykloseSilicio karbido keraminis galinis efektoriusplačiai naudojamas šiose srityse:

Vaflių pakrovimas / iškrovimas
FOUP rūšiavimas
Vakuuminės kameros transportavimas
Ėsdinimo, litografijos ir nusodinimo procesai

Itin švarus ir tvirtasSilicio karbido keraminis galinis efektoriusApsaugo nuo plokštelių slydimo, išlinkimo ir užteršimo, palaiko nuo 150 mm iki 300 mm skersmens plokšteles.

2. Fotonika ir optoelektronika

Trapiems lęšiams, optiniams įrenginiams, GaN substratams ir fotoniniams lustams tvarkytiSilicio karbido keraminis galinis efektoriusužtikrina stabilumą be vibracijos. Dėl nemetalinės konstrukcijos išvengiama magnetinių trukdžių ir optinio užteršimo.

3. Ekranų ir skydų gamyba

OLED, QLED ir LCD ekranų gamybojeSilicio karbido keraminis galinis efektoriusSaugiai perkelia ploną stiklą ir specialius paviršius. Chemiškai inertiškas paviršius apsaugo nuo likučių ir paviršiaus pažeidimų.

4. Aviacijos ir kosmoso bei vakuuminė robotika

Aukšto vakuumo kamerose ir aviacijos ir kosmoso surinkimo linijoseSilicio karbido keraminis galinis efektoriusatlaiko aukštą temperatūrą, radiacijos poveikį ir korozines dujas, išlaikant matmenų tikslumą.

Visose šiose pramonės šakose,Silicio karbido keraminis galinis efektoriusnuolat lenkia metalines ir polimerines alternatyvas.

DUK – Dažnai užduodami klausimai

1 klausimas: Ar silicio karbido keraminis efektorius gali palaikyti pasirinktinius dydžius?

Taip.Silicio karbido keraminis galinis efektoriusgali būti suprojektuotas bet kokio dydžio plokštelei, plokštei ar substratui. Šakių atstumas, storis, svoris ir tvirtinimo skylių išdėstymas yra visiškai pritaikomi.

2 klausimas: Ar silicio karbido keraminis efektorius tinka vakuuminėms aplinkoms?

Be abejo.Silicio karbido keraminis galinis efektoriuspasižymi itin mažu dujų išskyrimu ir be metalinių teršalų, todėl idealiai tinka UHV ir švarioms patalpoms.

3 klausimas: Kokie SiC efektoriaus pranašumai, palyginti su aliuminiu ar plienu?

A Silicio karbido keraminis galinis efektoriuspasiūlymai:

Didesnis standumo ir svorio santykis
Mažesnis šiluminis plėtimasis
Puikus atsparumas dilimui
Geresnis atsparumas plazmai ir cheminėms medžiagoms
Nulinė korozija

Apie mus

„XKH“ specializuojasi aukštųjų technologijų kūrime, gamyboje ir pardavime, susijusiame su specialiu optiniu stiklu ir naujomis kristalinėmis medžiagomis. Mūsų produktai skirti optinei elektronikai, plataus vartojimo elektronikai ir kariuomenei. Siūlome safyro optinius komponentus, mobiliųjų telefonų lęšių dangtelius, keramiką, lengvą stiklo pluoštą, silicio karbido SIC, kvarco ir puslaidininkinių kristalų plokšteles. Turėdami kvalifikuotų specialistų patirtį ir pažangiausią įrangą, mes puikiai atliekame nestandartinių gaminių apdorojimą ir siekiame tapti pirmaujančia optoelektroninių medžiagų aukštųjų technologijų įmone.