Silicio karbido keraminis dėklas, siurbtukas. Silicio karbido keraminis vamzdelis tiekia aukštos temperatūros sukepinimo individualų apdorojimą.

Silicio karbido keraminis dėklo siurbtukas Silicio karbido keraminis vamzdelis tiekia aukštos temperatūros sukepinimą pagal užsakymą Teminis paveikslėlis

Trumpas aprašymas:

Silicio karbido keraminiai padėklai ir silicio karbido keraminiai vamzdeliai yra nepakeičiamos aukštos kokybės medžiagos puslaidininkių gamyboje. Silicio karbido keraminiai padėklai daugiausia naudojami plokštelių apdirbimo fiksavimo ir guolių srityse, siekiant užtikrinti didelio tikslumo proceso stabilumą; silicio karbido keraminiai vamzdeliai plačiai naudojami aukštos temperatūros krosnių vamzdeliuose, difuzinių krosnių vamzdeliuose ir kitose situacijose, kad atlaikytų ekstremalias sąlygas ir palaikytų efektyvų šilumos valdymą. Abiejų jų pagrindas yra silicio karbidas, kuris dėl puikių fizikinių ir cheminių savybių tapo pagrindiniu puslaidininkių pramonės komponentu.

Siųskite mums el. laišką

Savybės

Pagrindinės savybės:

1. Silicio karbido keraminis padėklas
- Didelis kietumas ir atsparumas dilimui: kietumas artimas deimantui ir ilgą laiką gali atlaikyti mechaninį dilimą apdorojant plokšteles.
- Didelis šilumos laidumas ir mažas šiluminio plėtimosi koeficientas: greitas šilumos išsiskyrimas ir matmenų stabilumas, išvengiant deformacijos, kurią sukelia terminis įtempis.
- Didelis lygumas ir paviršiaus apdaila: paviršiaus lygumas siekia iki mikrono lygio, užtikrinant visišką plokštelės ir disko kontaktą, sumažinant užterštumą ir pažeidimus.
Cheminis stabilumas: stiprus atsparumas korozijai, tinka šlapiam valymui ir ėsdinimo procesams puslaidininkių gamyboje.
2. Silicio karbido keraminis vamzdelis
- Atsparumas aukštai temperatūrai: gali ilgą laiką veikti aukštoje temperatūroje, aukštesnėje nei 1600 °C, tinka puslaidininkių aukštos temperatūros procesams.
Puikus atsparumas korozijai: atsparus rūgštims, šarmams ir įvairiems cheminiams tirpikliams, tinka atšiaurioms proceso aplinkoms.
- Didelis kietumas ir atsparumas dilimui: atsparus dalelių erozijai ir mechaniniam dilimui, prailgina tarnavimo laiką.
- Didelis šilumos laidumas ir mažas šiluminio plėtimosi koeficientas: greitas šilumos laidumas ir matmenų stabilumas, sumažinantis deformaciją ar įtrūkimus, kuriuos sukelia terminis įtempis.

Produkto parametras:

Silicio karbido keraminio padėklo parametras:

(Materialinė nuosavybė)		(Vienetas)	(ssic)
(SiC kiekis)		(Svorio)%	>99
(Vidutinis grūdelių dydis)		mikronas	4–10
(Tankis)		kg/dm3	>3,14
(Matomas poringumas)		Vo1%	<0,5
(Vikerso kietumas)	HV 0,5	GPa	28
() Lenkimo stipris (trys taškai)	20ºC	MPa	450
(Gniuždymo stipris)	20ºC	MPa	3900
(Elastinis modulis)	20ºC	GPa	420
(Atsparumas lūžiams)		MPa/m'%	3.5
(Šilumos laidumas)	20°C	W/(m²K)	160
(Varža)	20°C	Omas.cm	106–108
(Terminio plėtimosi koeficientas)	a(RT**...80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Maksimali darbinė temperatūra)		°C	1700 m.

Silicio karbido keraminių vamzdžių parametras:

Elementai	Indeksas
α-SIC	99 % min.
Matomas poringumas	16 % maks.
Tūrinis tankis	2,7 g/cm3 min.
Lenkimo stipris aukštoje temperatūroje	100 MPa min.
Šiluminio plėtimosi koeficientas	K-1 4,7x10⁻¹
Šilumos laidumo koeficientas (1400ºC)	24 W/mk
Maksimali darbinė temperatūra	1650ºC

Pagrindinės taikymo sritys:

1. Silicio karbido keraminė plokštė
- Plokštelių pjovimas ir poliravimas: tarnauja kaip atraminė platforma, užtikrinanti aukštą tikslumą ir stabilumą pjovimo ir poliravimo metu.
- Litografijos procesas: plokštelė pritvirtinama litografijos aparate, kad būtų užtikrintas didelis tikslumas ekspozicijos metu.
- Cheminis mechaninis poliravimas (CHP): veikia kaip atraminė platforma poliravimo pagalvėlėms, užtikrinanti tolygų slėgio ir šilumos paskirstymą.
2. Silicio karbido keraminis vamzdelis
- Aukštos temperatūros krosnies vamzdis: naudojamas aukštos temperatūros įrangai, pvz., difuzijos krosnims ir oksidacijos krosnims, plokštelėms transportuoti aukštoje temperatūroje apdorojant.
- CVD/PVD procesas: kaip guolio vamzdis reakcijos kameroje, atsparus aukštai temperatūrai ir korozinėms dujoms.
- Puslaidininkinės įrangos priedai: skirti šilumokaičiams, dujotiekiams ir kt., siekiant pagerinti įrangos šilumos valdymo efektyvumą.
„XKH“ siūlo platų individualių paslaugų spektrą, susijusį su silicio karbido keraminiais padėklais, siurbtukais ir silicio karbido keraminiais vamzdeliais. „XKH“ silicio karbido keraminius padėklus ir siurbtukus galima pritaikyti pagal kliento reikalavimus, jie gali būti įvairių dydžių, formų ir paviršiaus šiurkštumo, jie gali būti padengti specialia danga, padidinti atsparumą dilimui ir korozijai. „XKH“ gali pritaikyti silicio karbido keraminius vamzdelius įvairaus vidinio skersmens, išorinio skersmens, ilgio ir sudėtingos struktūros (pvz., formos vamzdžio arba porėto vamzdžio), taip pat atlikti poliravimo, antioksidacinės dangos ir kitus paviršiaus apdorojimo procesus. „XKH“ užtikrina, kad klientai galėtų visapusiškai pasinaudoti silicio karbido keraminių gaminių našumu, kad atitiktų griežtus aukštos klasės gamybos sričių, tokių kaip puslaidininkiai, šviesos diodai ir fotovoltiniai elementai, reikalavimus.