Silicio karbido (SiC) keraminė plokštė
Detali schema
Produkto apžvalga
Silicio karbido (SiC) keraminės plokštės yra didelio stiprumo, didelio grynumo pažangūs keraminiai komponentai, sukurti aplinkoms, kurioms reikalingas išskirtinis terminis stabilumas, mechaninis tvirtumas ir atsparumas cheminėms medžiagoms. Dėl puikaus kietumo, mažo tankio ir didelio šilumos laidumo SiC plokštės plačiai naudojamos puslaidininkių apdirbime, aukštos temperatūros krosnyse, tiksliosiose mašinose ir korozinėje pramoninėje aplinkoje.
Šios plokštės išlaiko konstrukcijos vientisumą ekstremaliomis sąlygomis, todėl yra idealus medžiagų sprendimas naujos kartos didelio našumo įrangai.
Pagrindinės savybės ir savybės
-
Didelis kietumas ir atsparumas dilimui– Panašus į deimantą, užtikrina ilgą tarnavimo laiką.
-
Mažas šiluminis plėtimasis– Sumažina deformaciją greito kaitinimo ar aušinimo metu.
-
Didelis šilumos laidumas– Efektyvus šilumos išsklaidymas šiluminės kontrolės sistemose.
-
Išskirtinis cheminis stabilumas– Atsparus rūgštims, šarmams ir plazmos aplinkai.
-
Lengvas, bet itin tvirtas– Didelis stiprumo ir svorio santykis, palyginti su metalais.
-
Puikus veikimas aukštoje temperatūroje– Darbinė temperatūra iki 1600 °C (priklausomai nuo klasės).
-
Stiprus mechaninis tvirtumas– Idealiai tinka tiksliam atramos ir konstrukcijos stabilumo užtikrinimui.
Gamybos metodas
SiC keraminės plokštės paprastai gaminamos vienu iš šių procesų:
• Reakciniu būdu sujungtas silicio karbidas (RBSC / RBSiC)
-
Suformuotas infiltruojant išlydytą silicį į porėtą SiC ruošinį
-
Pasižymi dideliu stiprumu, geru apdirbamumu ir matmenų stabilumu
-
Tinka didelėms plokštėms, kurioms reikalinga tiksli lygumo kontrolė
• Sukepintas silicio karbidas (SSiC)
-
Pagaminta be slėgio sukepinant labai grynus SiC miltelius
-
Pasižymi išskirtiniu grynumu, stiprumu ir atsparumu korozijai
-
Idealiai tinka puslaidininkių ir chemijos pramonei, kuriai reikalingos itin švarios sąlygos
• CVD silicio karbidas (CVD-SiC)
-
Cheminio garų nusodinimo procesas
-
Aukščiausio grynumo, itin tankus ir itin lygus paviršius
-
Paplitęs puslaidininkinių plokštelių laikikliuose, susceptoriuose ir vakuuminės kameros dalyse
Paraiškos
SiC keraminės plokštės plačiai naudojamos įvairiose pramonės šakose:
Puslaidininkiai ir elektronika
-
Vaflinių nešėjų plokštės
-
Susceptoriai
-
Difuzinės krosnies komponentai
-
Ėsdinimo ir nusodinimo kameros dalys
Aukštos temperatūros krosnių komponentai
-
Atraminės plokštės
-
Krosnies baldai
-
Šildymo sistemos izoliacija ir apsauga
Pramoninė įranga
-
Mechaninės dėvėjimosi plokštės
-
Slydimo pagalvėlės
-
Siurblio ir vožtuvo komponentai
-
Cheminei korozijai atsparios plokštės
Aviacija ir gynyba
-
Lengvos, didelio stiprumo konstrukcinės plokštės
-
Aukštos temperatūros ekranavimo komponentai
Specifikacijos ir pritaikymas
SiC keraminės plokštės gali būti gaminamos pagal individualius brėžinius:
• Matmenys:
Storis: 0,5–30 mm
Maksimalus šoninis ilgis: iki 600 mm (priklausomai nuo proceso)
• Tolerancija:
±0,01–0,05 mm, priklausomai nuo apdirbimo rūšies
• Paviršiaus apdaila:
-
Šlifuotas / užlenktas
-
Poliruotas (Ra < 5 nm CVD-SiC atveju)
-
Sukepintas paviršius
• Medžiagų rūšys:
RBSiC / SSiC / CVD-SiC
• Formos parinktys:
Plokščios plokštės, kvadratinės plokštės, apvalios plokštės, plokštės su plyšiais, perforuotos plokštės ir kt.
Kvarco akinių DUK
1 klausimas: Kuo skiriasi RBSiC ir SSiC plokštės?
A:RBSiC pasižymi geru mechaniniu stiprumu ir ekonomiškumu, o SSiC yra grynesnis, atsparesnis korozijai ir stipresnis. SSiC yra labiau pageidaujamas puslaidininkių ir chemijos srityse.
2 klausimas: Ar SiC keraminės plokštės atlaiko terminį šoką?
A:Taip. SiC pasižymi mažu šiluminiu plėtimusi ir dideliu šilumos laidumu, todėl užtikrina puikų atsparumą šiluminiam smūgiui.
3 klausimas: Ar plokštes galima poliruoti, kad būtų galima naudoti veidrodinį paviršių?
A:Taip. CVD-SiC ir didelio grynumo SSiC gali pasiekti veidrodinio lygio poliravimą, reikalingą optiniams arba puslaidininkiniams poreikiams.
4 klausimas: Ar palaikote individualų apdirbimą?
A:Taip. Plokštės gali būti pagamintos pagal jūsų brėžinius, įskaitant skyles, plyšius, įdubas ir specialias formas.
Apie mus
„XKH“ specializuojasi aukštųjų technologijų kūrime, gamyboje ir pardavime, susijusiame su specialiu optiniu stiklu ir naujomis kristalinėmis medžiagomis. Mūsų produktai skirti optinei elektronikai, plataus vartojimo elektronikai ir kariuomenei. Siūlome safyro optinius komponentus, mobiliųjų telefonų lęšių dangtelius, keramiką, lengvą stiklo pluoštą, silicio karbido SIC, kvarco ir puslaidininkinių kristalų plokšteles. Turėdami kvalifikuotų specialistų patirtį ir pažangiausią įrangą, mes puikiai atliekame nestandartinių gaminių apdorojimą ir siekiame tapti pirmaujančia optoelektroninių medžiagų aukštųjų technologijų įmone.














