Itin tikslus SiC oro guolis

Itin tikslus SiC oro guolio staliuko paveikslėlis

Trumpas aprašymas:

Nuolat vystantis puslaidininkių pramonei, apdorojimo ir tikrinimo įrangai keliami vis didesni reikalavimai našumui. Remdamiesi didele judesio valdymo ir nanometrų lygio padėties nustatymo patirtimi, sukūrėme plokštuminę H tipo dviejų ašių itin tikslią pneumatinių guolių platformą.

Siųskite mums el. laišką

Savybės

Detali schema

Apžvalga

Sukurtas naudojant baigtinių elementų metodui optimizuotą silicio karbido (SiC) keraminę struktūrą ir kompensuojamą oro guolių technologiją, šis statulos paviršius pasižymi išskirtiniu tikslumu, tvirtumu ir dinaminiu atsaku. Jis idealiai tinka:

Puslaidininkių apdorojimas ir tikrinimas
Mikro/nano gamyba ir metrologija
Nanometrinio masto pjovimas ir poliravimas
Didelės spartos tikslus nuskaitymas

Pagrindinės savybės

SiC oro guolio kreipiančiojiitin didelio standumo ir tikslumo
Didelė dinamika: greitis iki 1 m/s, pagreitis iki 4 g, greitas nusistovimas
Dvigubos pavaros portalinė Y ašisužtikrina didelę apkrovą ir stabilumą
Kodavimo įrenginio parinktysoptinis gardelinis arba lazerinis interferometras
Padėties nustatymo tikslumas±0,15 μm;pakartojamumas±75 nm
Optimizuotas kabelių išdėstymasdėl švaraus dizaino ir ilgalaikio patikimumo
Pritaikomos konfigūracijoskonkrečios paskirties poreikiams

Itin tikslus dizainas ir tiesioginės pavaros, bekontakčios architektūros

SiC keraminis rėmas~5 kartus didesnis aliuminio lydinio standumas ir ~5 kartus mažesnis šiluminis plėtimasis, užtikrinantis stabilumą dideliu greičiu ir šiluminį atsparumą.
Kompensuotas oro guolisPatentuotas dizainas padidina standumą, keliamąją galią ir judėjimo stabilumą.
Dinaminis našumasPalaiko 1 m/s greitį ir 4 g pagreitį, idealiai tinka didelio našumo procesams.
Sklandi integracijaSuderinamas su vibracijos izoliacijos sistemomis, rotaciniais stalais, pakreipiamaisiais moduliais ir plokštelių tvarkymo platformomis.
Kabelių valdymasKontroliuojamas lenkimo spindulys sumažina įtempį ir pailgina tarnavimo laiką.

Bešerdis linijinis variklisSklandus judesys be jokių sukibimo jėgų.
Daugiamotorė pavaraVariklio išdėstymas apkrovos plokštumoje pagerina tiesumą, plokštumą ir kampinį tikslumą.
Šiluminė izoliacijaVarikliai yra izoliuoti nuo scenos konstrukcijos; pasirinktinai galimas oro arba vandens aušinimas didelio našumo ciklams.

Specifikacijos

Modelis	400–400	500–500	600–600
Kirviai	X (skenavimas) / Y (žingsnis)	X (skenavimas) / Y (žingsnis)	X (skenavimas) / Y (žingsnis)
Eiga (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Tikslumas (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Pakartojamumas (nm)	±75	±100	±100
Skiriamoji geba (nm)	0,3	0,3	0,3
Maksimalus greitis (m/s)	1	1	1
Pagreitis (g)	4	4	4
Tiesumas (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Stabilumas (nm)	±5	±5	±5
Maksimali apkrova (kg)	20	20	20
Pakreipimas / sukimas / posūkis (lanko sekundėmis)	±1	±1	±1

Bandymo sąlygos:

Oro tiekimas: švarus, sausas; rasos taškas ≤ 0°F; dalelių filtravimas ≤ 0,25 μm; arba 99,99 % azoto.
Tikslumas išmatuotas 25 mm virš staliuko centro, esant 20±1 °C temperatūrai ir 40–60 % santykiniam oro drėgnumui.

Paraiškos

Puslaidininkių litografija, tikrinimas ir plokštelių tvarkymas
Mikro/nano gamyba ir tikslioji metrologija
Aukščiausios klasės optikos gamyba ir interferometrija
Aviacija ir pažangūs moksliniai tyrimai

DUK – silicio karbido oro guolio pakopa

1. Kas yra oru valdoma scena?

Oro guolių platformoje tarp platformos ir kreipiančiosios naudojama plona suslėgto oro plėvelė, kad būtų užtikrintasbe trinties, be nusidėvėjimo ir itin sklandus judėjimasSkirtingai nuo įprastų mechaninių guolių, jis pašalina akytą slydimą, užtikrina nanometrų lygio tikslumą ir ilgalaikį patikimumą.

2. Kodėl scenos konstrukcijai naudojamas silicio karbidas (SiC)?

Didelis standumas~5 kartus didesnis nei aliuminio lydinio, todėl deformacija dinaminio judėjimo metu yra kuo mažesnė.
Mažas šiluminis plėtimasis~5 kartus mažesnis nei aliuminio, išlaikant tikslumą esant temperatūros svyravimams.
LengvasMažesnis tankis, palyginti su plienu, leidžia veikti dideliu greičiu ir dideliu pagreičiu.
Puikus stabilumasPuikus slopinimas ir standumas itin tiksliam padėties nustatymui.

3. Ar scenai reikalingas tepimas arba priežiūra?

Tradicinio tepimo nereikia, nes yranėra mechaninio kontaktoRekomenduojama priežiūra apima:

Tiekimasšvarus, sausas suslėgtas oras arba azotas
Periodinė filtrų ir džiovyklių patikra
Stebėjimo kabeliai ir aušinimo sistemos

4. Kokie yra oro tiekimo reikalavimai?

Rasos taškas: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Dalelių filtravimas: ≤ 0,25 μm
Švarus, sausas oras arba 99,99 % grynumo azotas
Stabilus slėgis su minimaliais svyravimais

Apie mus

„XKH“ specializuojasi aukštųjų technologijų kūrime, gamyboje ir pardavime, susijusiame su specialiu optiniu stiklu ir naujomis kristalinėmis medžiagomis. Mūsų produktai skirti optinei elektronikai, plataus vartojimo elektronikai ir kariuomenei. Siūlome safyro optinius komponentus, mobiliųjų telefonų lęšių dangtelius, keramiką, lengvą stiklo pluoštą, silicio karbido SIC, kvarco ir puslaidininkinių kristalų plokšteles. Turėdami kvalifikuotų specialistų patirtį ir pažangiausią įrangą, mes puikiai atliekame nestandartinių gaminių apdorojimą ir siekiame tapti pirmaujančia optoelektroninių medžiagų aukštųjų technologijų įmone.