3 colių didelio grynumo (nelegiruoti) silicio karbido plokštelės, pusiau izoliuojantys silicio pagrindai (HPSl)
Ypatybės
1. Fizinės ir struktūrinės savybės
●Medžiagos tipas: Didelio grynumo (nelegiruotas) silicio karbidas (SiC)
●Skersmuo: 76,2 mm (3 coliai)
●Storis: 0,33–0,5 mm, galima pritaikyti pagal taikymo reikalavimus.
●Kristalinė struktūra: 4H-SiC politipas su šešiakampe gardele, žinomas dėl didelio elektronų judrumo ir terminio stabilumo.
●Orientacija:
Standartas: [0001] (C plokštuma), tinka įvairiems pritaikymams.
oPasirinktinai: neašinis (4° arba 8° pakreipimas), skirtas sustiprintam įrenginio sluoksnių epitaksiniam augimui.
● Plokštumas: Bendras storio pokytis (TTV) ● Paviršiaus kokybė:
o Poliruotas iki o Mažo defektų tankio (<10/cm² mikrovamzdžio tankis). 2. Elektrinės savybės ● Varža: >109^99 Ω·cm, išlaikoma pašalinant specialiai pridėtas priemaišas.
● Dielektrinis stiprumas: didelė įtampos ištvermė su minimaliais dielektriniais nuostoliais, idealiai tinka didelės galios taikymams.
●Šilumos laidumas: 3,5–4,9 W/cm·K, užtikrinantis efektyvų šilumos išsklaidymą didelio našumo įrenginiuose.
3. Terminės ir mechaninės savybės
● Platus draudžiamasis tarpas: 3,26 eV, palaikantis veikimą esant aukštai įtampai, aukštai temperatūrai ir didelei spinduliuotei.
● Kietumas: 9 pagal Moso skalę, užtikrinantis atsparumą mechaniniam dilimui apdorojimo metu.
●Terminio plėtimosi koeficientas: 4,2 × 10−6 / K₁⁵ × 10−6 / K₁⁵ × 10−6 / K, užtikrinantis matmenų stabilumą kintant temperatūrai.
Parametras | Gamybos klasė | Tyrimo įvertinimas | Manekeno klasė | Vienetas |
Įvertinimas | Gamybos klasė | Tyrimo įvertinimas | Manekeno klasė | |
Skersmuo | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
Storis | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
Vaflinės orientacijos | Ašies atžvilgiu: <0001> ± 0,5° | Ašies atžvilgiu: <0001> ± 2,0° | Ašies atžvilgiu: <0001> ± 2,0° | laipsnis |
Mikrovamzdžio tankis (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm−2^-2−2 |
Elektrinė varža | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·cm |
Dopantas | Be priedų | Be priedų | Be priedų | |
Pirminė plokščioji orientacija | {1–100} ± 5,0° | {1–100} ± 5,0° | {1–100} ± 5,0° | laipsnis |
Pirminis plokščias ilgis | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
Antrinis plokščias ilgis | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | mm |
Antrinė plokščia orientacija | 90° pagal laikrodžio rodyklę nuo pagrindinės plokštumos ± 5,0° | 90° pagal laikrodžio rodyklę nuo pagrindinės plokštumos ± 5,0° | 90° pagal laikrodžio rodyklę nuo pagrindinės plokštumos ± 5,0° | laipsnis |
Kraštų išskyrimas | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV / TTV / Lankas / Metmenys | 3 / 10 / ±30 / 40 | 3 / 10 / ±30 / 40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | µm |
Paviršiaus šiurkštumas | Si paviršius: CMP, C paviršius: poliruotas | Si paviršius: CMP, C paviršius: poliruotas | Si paviršius: CMP, C paviršius: poliruotas | |
Įtrūkimai (didelio intensyvumo šviesa) | Nėra | Nėra | Nėra | |
Šešiakampės plokštės (didelio intensyvumo šviesa) | Nėra | Nėra | Kaupiamasis plotas 10% | % |
Politipo zonos (didelio intensyvumo šviesa) | Kaupiamasis plotas 5% | Kaupiamasis plotas 20% | Bendras plotas 30% | % |
Įbrėžimai (didelio intensyvumo šviesa) | ≤ 5 įbrėžimai, bendras ilgis ≤ 150 | ≤ 10 įbrėžimų, bendras ilgis ≤ 200 | ≤ 10 įbrėžimų, bendras ilgis ≤ 200 | mm |
Kraštų drožimas | Nėra ≥ 0,5 mm pločio/gylio | 2 leidžiami ≤ 1 mm pločio/gylio | 5 leidžiama ≤ 5 mm pločio/gylio | mm |
Paviršiaus užterštumas | Nėra | Nėra | Nėra |
Paraiškos
1. Galios elektronika
Dėl plataus draudžiamojo tarpo ir didelio HPSI SiC substratų šiluminio laidumo jie idealiai tinka galios įrenginiams, veikiantiems ekstremaliomis sąlygomis, tokiomis kaip:
● Aukštos įtampos įtaisai: įskaitant MOSFET tranzistorius, IGBT tranzistorius ir Schottky barjerinius diodus (SBD), skirtus efektyviam energijos konvertavimui.
●Atsinaujinančios energijos sistemos: tokios kaip saulės keitikliai ir vėjo turbinų valdikliai.
●Elektrinės transporto priemonės (EV): naudojamos keitikliuose, įkrovikliuose ir jėgos pavarų sistemose, siekiant pagerinti efektyvumą ir sumažinti dydį.
2. RF ir mikrobangų taikymas
Didelė HPSI plokštelių varža ir maži dielektriniai nuostoliai yra būtini radijo dažnių (RF) ir mikrobangų sistemoms, įskaitant:
●Telekomunikacijų infrastruktūra: 5G tinklų ir palydovinio ryšio bazinės stotys.
● Kosmoso ir gynybos pramonė: radarų sistemos, fazinių gardelių antenos ir avionikos komponentai.
3. Optoelektronika
4H-SiC skaidrumas ir platus draudžiamasis tarpas leidžia jį naudoti optoelektroniniuose įrenginiuose, tokiuose kaip:
●UV fotodetektoriai: skirti aplinkos stebėjimui ir medicininei diagnostikai.
● Didelės galios šviesos diodai: palaiko kietakūnes apšvietimo sistemas.
●Lazeriniai diodai: skirti pramoninėms ir medicininėms reikmėms.
4. Moksliniai tyrimai ir plėtra
HPSI SiC substratai yra plačiai naudojami akademinėse ir pramoninėse mokslinių tyrimų ir plėtros laboratorijose, siekiant ištirti pažangias medžiagų savybes ir gaminti prietaisus, įskaitant:
●Epitaksinio sluoksnio augimas: defektų mažinimo ir sluoksnių optimizavimo tyrimai.
●Krūvininkų judrumo tyrimai: elektronų ir skylių pernašos tyrimas labai grynose medžiagose.
●Prototipų kūrimas: Pradinis naujų įrenginių ir grandinių kūrimas.
Privalumai
Aukščiausia kokybė:
Didelis grynumas ir mažas defektų tankis suteikia patikimą platformą pažangioms reikmėms.
Terminis stabilumas:
Puikios šilumos išsklaidymo savybės leidžia įrenginiams efektyviai veikti esant dideliam galingumui ir temperatūrai.
Platus suderinamumas:
Galimos orientacijos ir pasirinktinio storio parinktys užtikrina pritaikymą įvairiems įrenginio reikalavimams.
Patvarumas:
Išskirtinis kietumas ir struktūrinis stabilumas sumažina nusidėvėjimą ir deformaciją apdorojimo ir eksploatavimo metu.
Universalumas:
Tinka įvairioms pramonės šakoms – nuo atsinaujinančios energijos iki aviacijos ir kosmoso bei telekomunikacijų.
Išvada
3 colių didelio grynumo pusiau izoliacinė silicio karbido plokštelė yra aukščiausio lygio substratų technologija, skirta didelės galios, aukšto dažnio ir optoelektronikos prietaisams. Puikių šiluminių, elektrinių ir mechaninių savybių derinys užtikrina patikimą veikimą sudėtingomis sąlygomis. Nuo galios elektronikos ir radijo dažnių sistemų iki optoelektronikos ir pažangių mokslinių tyrimų ir plėtros – šie HPSI substratai yra rytojaus inovacijų pagrindas.
Norėdami gauti daugiau informacijos arba pateikti užsakymą, susisiekite su mumis. Mūsų techninė komanda pasiruošusi suteikti konsultacijas ir pritaikyti jūsų poreikius pagal jūsų poreikius.
Detali schema



