3 colių didelio grynumo (be legiruoto) silicio karbido plokštelių pusiau izoliaciniai silicio substratai (HPSl)
Savybės
1. Fizinės ir struktūrinės savybės
●Medžiagos tipas: didelio grynumo (be legiruoto) silicio karbido (SiC)
●Skersmuo: 3 coliai (76,2 mm)
●Storis: 0,33-0,5 mm, pritaikomas pagal taikymo reikalavimus.
●Krištolinė struktūra: 4H-SiC politipas su šešiakampe gardele, žinomas dėl didelio elektronų mobilumo ir terminio stabilumo.
●Orientacija:
o Standartas: [0001] (C plokštuma), tinka įvairiems pritaikymams.
o Pasirenkama: ne ašimi (4° arba 8° pakreipimas), kad būtų pagerintas epitaksinis įrenginio sluoksnių augimas.
●Plokštumas: bendras storio pokytis (TTV) ●Paviršiaus kokybė:
o Poliruotas iki o Mažo defektų tankio (<10/cm² mikrovamzdžio tankis). 2. Elektrinės savybės ●Varža: >109^99 Ω·cm, palaikoma pašalinus tyčinius priedus.
●Dielektrinis stiprumas: aukštos įtampos patvarumas su minimaliais dielektriniais nuostoliais, idealiai tinka didelės galios programoms.
●Šiluminis laidumas: 3,5-4,9 W/cm·K, leidžiantis efektyviai išsklaidyti šilumą didelio našumo įrenginiuose.
3. Šiluminės ir mechaninės savybės
●Wide Bandgap: 3,26 eV, palaiko darbą aukštos įtampos, aukštos temperatūros ir didelės spinduliuotės sąlygomis.
●Kietumas: 9 Moso skalė, užtikrinantis atsparumą mechaniniam susidėvėjimui apdorojimo metu.
●Šiluminio plėtimosi koeficientas: 4,2×10-6/K4,2 \times 10^{-6}/\text{K}4,2×10-6/K, užtikrinantis matmenų stabilumą esant temperatūros svyravimams.
Parametras | Gamybos laipsnis | Tyrimo laipsnis | Manekeno klasė | Vienetas |
Įvertinimas | Gamybos laipsnis | Tyrimo laipsnis | Manekeno klasė | |
Skersmuo | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
Storis | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
Vaflių orientacija | Ant ašies: <0001> ± 0,5° | Ant ašies: <0001> ± 2,0° | Ant ašies: <0001> ± 2,0° | laipsnį |
Mikrovamzdžio tankis (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm−2^-2−2 |
Elektrinė varža | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·cm |
Dopantas | Neleguotas | Neleguotas | Neleguotas | |
Pirminė plokščia orientacija | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | laipsnį |
Pirminis plokščias ilgis | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
Antrinis plokščias ilgis | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | mm |
Antrinė plokščia orientacija | 90° CW nuo pirminio plokščio ± 5,0° | 90° CW nuo pirminio plokščio ± 5,0° | 90° CW nuo pirminio plokščio ± 5,0° | laipsnį |
Kraštų išskyrimas | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV/TTV/Bow/Warp | 3/10/±30/40 | 3/10/±30/40 | 5/15/±40/45 | µm |
Paviršiaus šiurkštumas | Si paviršius: CMP, C paviršius: poliruotas | Si paviršius: CMP, C paviršius: poliruotas | Si paviršius: CMP, C paviršius: poliruotas | |
Įtrūkimai (didelio intensyvumo šviesa) | Nėra | Nėra | Nėra | |
Šešiakampės plokštės (didelio intensyvumo šviesa) | Nėra | Nėra | Bendras plotas 10 proc. | % |
Politipinės sritys (didelio intensyvumo šviesa) | Kaupiamasis plotas 5 % | Bendras plotas 20 proc. | Bendras plotas 30 proc. | % |
Įbrėžimai (didelio intensyvumo šviesa) | ≤ 5 įbrėžimai, bendras ilgis ≤ 150 | ≤ 10 įbrėžimų, bendras ilgis ≤ 200 | ≤ 10 įbrėžimų, bendras ilgis ≤ 200 | mm |
Kraštų smulkinimas | Nėra ≥ 0,5 mm plotis/gylis | 2 leistinas ≤ 1 mm plotis/gylis | 5 leistinas ≤ 5 mm plotis/gylis | mm |
Paviršiaus užterštumas | Nėra | Nėra | Nėra |
Programos
1. Galios elektronika
Dėl didelio HPSI SiC substratų pralaidumo ir didelio šilumos laidumo jie idealiai tinka maitinimo įrenginiams, veikiantiems ekstremaliomis sąlygomis, pavyzdžiui:
●Aukštos įtampos įrenginiai: įskaitant MOSFET, IGBT ir Schottky barjerinius diodus (SBD), kad būtų galima efektyviai konvertuoti energiją.
● Atsinaujinančios energijos sistemos: tokios kaip saulės inverteriai ir vėjo turbinų valdikliai.
●Elektrinės transporto priemonės (EV): naudojamos inverteriuose, įkrovikliuose ir jėgos pavaros sistemose, siekiant pagerinti efektyvumą ir sumažinti dydį.
2. RF ir mikrobangų programos
Didelė HPSI plokštelių varža ir maži dielektriniai nuostoliai yra būtini radijo dažnių (RF) ir mikrobangų sistemoms, įskaitant:
●Telekomunikacijų infrastruktūra: 5G tinklų ir palydovinio ryšio bazinės stotys.
●Aerokosmosas ir gynyba: radarų sistemos, fazinės matricos antenos ir avionikos komponentai.
3. Optoelektronika
4H-SiC skaidrumas ir platus pralaidumas leidžia jį naudoti optoelektroniniuose įrenginiuose, tokiuose kaip:
●UV fotodetektoriai: aplinkos stebėjimui ir medicininei diagnostikai.
● Didelės galios šviesos diodai: palaiko kietojo kūno apšvietimo sistemas.
●Lazeriniai diodai: Pramonės ir medicinos reikmėms.
4. Moksliniai tyrimai ir plėtra
HPSI SiC substratai yra plačiai naudojami akademinėse ir pramoninėse tyrimų ir plėtros laboratorijose, siekiant ištirti pažangias medžiagų savybes ir prietaisų gamybą, įskaitant:
●Epitaksinis sluoksnio augimas: defektų mažinimo ir sluoksnio optimizavimo tyrimai.
●Nešiklio mobilumo tyrimai: elektronų ir skylių pernašos tyrimas didelio grynumo medžiagose.
●Prototipų kūrimas: pradinis naujų prietaisų ir grandinių kūrimas.
Privalumai
Aukščiausia kokybė:
Didelis grynumas ir mažas defektų tankis yra patikima platforma pažangioms programoms.
Terminis stabilumas:
Puikios šilumos išsklaidymo savybės leidžia prietaisams efektyviai veikti didelės galios ir temperatūros sąlygomis.
Platus suderinamumas:
Galimos orientacijos ir pasirinktinio storio parinktys užtikrina pritaikymą įvairiems įrenginio reikalavimams.
Patvarumas:
Išskirtinis kietumas ir struktūrinis stabilumas sumažina susidėvėjimą ir deformaciją apdorojimo ir veikimo metu.
Universalumas:
Tinka įvairioms pramonės šakoms, nuo atsinaujinančios energijos iki aviacijos ir telekomunikacijų.
Išvada
3 colių didelio grynumo pusiau izoliacinė silicio karbido plokštelė yra substrato technologijos viršūnė, skirta didelės galios, aukšto dažnio ir optoelektroniniams įrenginiams. Puikių šiluminių, elektrinių ir mechaninių savybių derinys užtikrina patikimą veikimą sudėtingoje aplinkoje. Nuo galios elektronikos ir radijo dažnių sistemų iki optoelektronikos ir pažangių tyrimų bei plėtros – šie HPSI substratai yra rytojaus naujovių pagrindas.
Norėdami gauti daugiau informacijos arba pateikti užsakymą, susisiekite su mumis. Mūsų techninė komanda gali suteikti patarimų ir pritaikymo parinktis, pritaikytas jūsų poreikiams.