8 colių ličio niobato plokštelė LiNbO3 LN
Išsami informacija
| Skersmuo | 200±0,2 mm |
| pagrindinis lygumas | 57,5 mm, įpjova |
| Orientacija | 128Y-Cut, X-Cut, Z-Cut |
| Storis | 0,5±0,025 mm, 1,0±0,025 mm |
| Paviršius | DSP ir SSP |
| TTV | < 5 µm |
| BOW | ± (20 µm ~ 40 um ) |
| Metmenys | <= 20 µm ~ 50 µm |
| LTV (5 mm x 5 mm) | <1,5 um |
| PLTV (<0,5 um) | ≥98 % (5 mm*5 mm), neįskaitant 2 mm krašto |
| Ra | Ra<=5A |
| Scratch & Dig (S/D) | 20/10, 40/20, 60/40 |
| Kraštas | Susipažinkite su SEMI M1.2@ su GC800#. įprastas C tipo |
Konkrečios specifikacijos
Skersmuo: 8 coliai (apie 200 mm)
Storis: Įprasti standartiniai storiai svyruoja nuo 0,5 mm iki 1 mm. Kiti storiai gali būti pritaikyti pagal konkrečius reikalavimus
Kristalų orientacija: Pagrindinė bendra kristalų orientacija yra 128Y, Z ir X pjūvio kristalų orientacija, o kita kristalų orientacija gali būti pateikta priklausomai nuo konkrečios paskirties.
Dydžio privalumai: 8 colių serrata karpių vafliai turi keletą dydžio pranašumų, palyginti su mažesniais vafliais:
Didesnis plotas: Palyginti su 6 colių arba 4 colių plokštelėmis, 8 colių plokštelės turi didesnį paviršiaus plotą ir gali tilpti daugiau įrenginių ir integrinių grandynų, todėl padidėja gamybos efektyvumas ir išeiga.
Didesnis tankis: naudojant 8 colių plokšteles, toje pačioje srityje galima realizuoti daugiau įrenginių ir komponentų, todėl padidėja integracija ir įrenginio tankis, o tai savo ruožtu pagerina įrenginio veikimą.
Geresnis nuoseklumas: didesnių plokštelių gamybos proceso nuoseklumas yra geresnis, o tai padeda sumažinti gamybos proceso kintamumą ir pagerinti gaminio patikimumą bei nuoseklumą.
8 colių L ir LN plokštelių skersmuo toks pat kaip ir pagrindinių silicio plokštelių, todėl jas lengva klijuoti. Kaip didelio našumo „sujungtas SAW filtras“ medžiaga, galinti valdyti aukšto dažnio juostas.
Išsami diagrama
