8 colių ličio niobato plokštelė LiNbO3 LN plokštelė
Išsami informacija
| Skersmuo | 200 ± 0,2 mm |
| didelis lygumas | 57,5 mm, įpjova |
| Orientacija | 128Y formos, X formos, Z formos |
| Storis | 0,5 ± 0,025 mm, 1,0 ± 0,025 mm |
| Paviršius | DSP ir SSP |
| TTV | < 5 µm |
| LANKAS | ± (20 µm ~ 40 µm) |
| Metmenys | <= 20 µm ~ 50 µm |
| Ilgalaikės aprėpties riba (5 mm x 5 mm) | <1,5 µm |
| PLTV (<0,5 μm) | ≥98 % (5 mm * 5 mm) be 2 mm krašto |
| Ra | Ra <=5A |
| Kask ir kask (S/D) | 20/10, 40/20, 60/40 |
| Kraštas | Susipažinkite su SEMI M1.2 su GC800#. įprastas C tipo |
Specifinės specifikacijos
Skersmuo: 8 coliai (maždaug 200 mm)
Storis: Įprastas standartinis storis svyruoja nuo 0,5 mm iki 1 mm. Kitus storius galima pritaikyti pagal konkrečius reikalavimus.
Kristalų orientacija: pagrindinė įprasta kristalų orientacija yra 128Y, Z ir X formos kristalų orientacija, o kita kristalų orientacija gali būti teikiama priklausomai nuo konkretaus pritaikymo.
Dydžio pranašumai: 8 colių serrata karpių vafliai turi keletą dydžio pranašumų, palyginti su mažesniais vafliais:
Didesnis plotas: palyginti su 6 colių arba 4 colių plokštelėmis, 8 colių plokštelės turi didesnį paviršiaus plotą ir gali sutalpinti daugiau įrenginių ir integrinių grandynų, todėl padidėja gamybos efektyvumas ir našumas.
Didesnis tankis: naudojant 8 colių plokšteles, toje pačioje srityje galima realizuoti daugiau įrenginių ir komponentų, padidinant integraciją ir įrenginių tankį, o tai savo ruožtu pagerina įrenginių našumą.
Geresnis nuoseklumas: Didesnės plokštelės gamybos procese pasižymi geresniu nuoseklumu, todėl sumažėja gamybos proceso kintamumas ir pagerėja produkto patikimumas bei nuoseklumas.
8 colių L ir LN plokštelės yra tokio pat skersmens kaip ir pagrindinės silicio plokštelės ir yra lengvai sujungiamos. Tai aukštos kokybės „sujungto SAW filtro“ medžiaga, galinti apdoroti aukšto dažnio juostas.
Detali schema
